SEMI F72Augerova testovacia metóda pre elektrónovú spektroskopiu (AES) testy mokrých povrchov pasivovaných komponentov z nehrdzavejúcej ocele 316L

Účelom normy SEMI F72, vyvinutej v rámci programu medzinárodných noriem s názvom International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), je opísať testovaciu metódu na charakterizáciu povrchového zloženia komponentov z pasivovanej nehrdzavejúcej ocele 316L, ktoré sa zvažujú na inštaláciu v distribučnom systéme plynu s vysokou čistotou. . Táto testovacia metóda je navrhnutá tak, aby bola aplikovaná na mokré povrchy rúr, armatúr, ventilov a iných komponentov z nehrdzavejúcej ocele ako miera účinnosti pasivácie. Pasivačný proces je proces neutralizácie na žehličke po použití kyseliny na odstraňovanie hrdze.

Účelom tejto testovacej metódy je definovať všeobecný súbor parametrov a podmienok prístroja, ktoré umožnia získať reprodukovateľné merania vo vrstve pasívneho oxidu obohateného chrómom. Táto testovacia metóda bola pripravená na charakterizáciu zloženia a hrúbky chrómom obohatenej oxidovej vrstvy povrchov nehrdzavejúcej ocele a na zistenie povrchovej kontaminácie v potrubiach, armatúrach, ventiloch a iných komponentoch. Metóda zahŕňa detekciu a meranie zloženia povrchových prvkov pomocou Augerovej elektrónovej spektroskopie (AES). Táto testovacia metóda opisuje aj testovaciu metódu pre hĺbkový profil zloženia chrómu, železa, niklu, kyslíka a uhlíka siahajúci z povrchu cez vrstvy oxidu až do základného kovu. Toto meranie poskytuje informácie o hrúbke oxidu a obohatení chrómom v celej pasivovanej oblasti.

Pomocou Augerovej elektrónovej spektroskopie (AES) je vzorka bombardovaná elektrónmi s vysokou energiou a niektoré elektróny sú odstránené z cieľových atómov a atómy sú ionizované. Pretože ionizovaný atóm je nestabilný, elektrón z vonkajšieho orbitálu vyplní elektrónové voľné miesto vo vnútornom orbitále. Táto metóda je veľmi výkonná technika analýzy obrazu.

Pri príprave tohto štandardu sa ako referencia použili nasledujúce štandardy SEMI:

• Špecifikácia pre SEMI C57 Argon
• Špecifikácia pre dusík SEMI C59

Naša organizácia, medzi početnými testovacími, meracími, analytickými a hodnotiacimi štúdiami, ktoré poskytla pre podniky v rôznych sektoroch, so svojim vyškoleným a odborným personálom a pokročilým technologickým vybavením, testovacia metóda pre Augerovu elektrónovú spektroskopiu (AES) v rámci SEMI. Norma F72 je metóda testovania oxidov mokrých povrchov pasivovaných komponentov z nehrdzavejúcej ocele 316L. Poskytuje tiež testovacie služby na hodnotenie vrstvy.