Testovacia metóda SEMI F73 pre skenovaciu elektrónovú mikroskopiu (SEM) Hodnotenie stavu mokrého povrchu komponentov z nehrdzavejúcej ocele

Norma SEMI F73, vyvinutá v rámci programu medzinárodných noriem s názvom International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), definuje jednotnú testovaciu metódu na testovanie vlhkých povrchov komponentov z nehrdzavejúcej ocele určených na montáž do distribučných systémov plynov s vysokou čistotou. Táto testovacia metóda charakterizuje výskyt, frekvenciu a v niektorých prípadoch identitu mikroskopických povrchových defektov a kontaminantov pozorovaných na mokrých povrchoch.

Existuje priama korelácia medzi výsledkami tejto testovacej metódy a kontamináciou procesných plynov alebo výťažkov produktov v procesoch obsluhovaných distribučnými systémami plynu s vysokou čistotou. Účelom aplikácie tejto testovacej metódy je poskytnúť porovnateľné a reprodukovateľné výsledky medzi rôznymi používateľmi tejto metódy na účely kvalifikácie komponentov.

Účelom skúšobnej metódy opísanej v tejto norme je definovať všeobecný súbor inštrumentálnych parametrov a podmienok, ktoré poskytnú presné a opakovateľné merania dôležitých parametrov stavu povrchu.

Táto testovacia metóda je použiteľná na mokré povrchy rúr, armatúr, ventilov a iných komponentov z nehrdzavejúcej ocele na určenie účinnosti povrchovej úpravy a čistenia. Táto metóda sa používa na identifikáciu povrchových defektov vrátane jamiek, inklúzií, škrabancov, zvyškových procesných značiek, hraníc zŕn a kontaminácie na mokrých povrchoch. Akékoľvek poškodenie povrchu vzniknuté počas prípravy vzorky by však malo byť z tohto hodnotenia vylúčené.

Skenovací elektrónový mikroskop (SEM) je elektrónový mikroskop, ktorý využíva zaostrený lúč elektrónov na skenovanie a zobrazenie povrchu vzorky. Elektróny interagujú s atómami vo vzorke a vytvárajú rôzne signály obsahujúce informácie o zložení na povrchu vzorky. Štandardné skenovacie zariadenia sú vhodné na kontrolu suchých a vodivých povrchov vo vysokom vákuu. Existujú však aj skenovacie zariadenia, ktoré pracujú v nízkom vákuu, vlhku a podmienkach od veľmi nízkych po vysoké teploty.

Medzi početnými testami, meraniami, analýzami a hodnoteniami, ktoré naša organizácia poskytuje podnikom v rôznych odvetviach, ponúkame aj testovacie služby na hodnotenie stavu mokrého povrchu komponentov z nehrdzavejúcej ocele pomocou skenovacej elektrónovej mikroskopie (SEM) v rámci normy SEMI F73, a to vďaka nášmu vyškolenému a odbornému personálu a modernému technologickému vybaveniu.