Norma SEMI F70, vyvinutý v rámci programu medzinárodných noriem s názvom International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), je technicky schválená norma od Gases Global Technical Committee. Účelom tejto normy je poskytnúť štandardnú metodiku a skúšobnú metódu na meranie účinnosti aditíva častíc v systéme distribúcie plynu z hľadiska počtu častíc pridaných do plynu prúdiaceho cez systém. Tento štandardizovaný postup je určený na široké využitie dodávateľmi plynárenských distribučných sústav, dodávateľmi zariadení a konečnými užívateľmi.
Táto skúšobná metóda sa vzťahuje na konvenčné povrchové rozvody plynu používané v zariadeniach na výrobu polovodičov. Pri skúškach sa berie do úvahy norma SEMI F70.1-0320 pripojená k tejto norme (skúšobná metóda na stanovenie podielu častíc plynového rozvodu a jeho komponentov nárazovou skúškou).
Jedným z najdôležitejších aspektov pri navrhovaní systému distribúcie plynu je úroveň čistoty plynu požadovaná v každom mieste použitia. Udržiavanie čistoty plynu zjednodušuje centralizovaný systém. Výber materiálov na inštaláciu musí byť konzistentný. Napríklad, ak sa používa výskumný plyn, mali by sa použiť všetky konštrukcie z nehrdzavejúcej ocele a bezmembránové uzatváracie ventily, aby sa zabránilo kontaminácii prúdu plynu. Vo všeobecnosti existujú tri úrovne čistoty, ktoré popisujú takmer akúkoľvek aplikáciu: všestranná čistota, vysoká čistota a ultra vysoká čistota.
SEMI štandardy a bezpečnostné postupy netvrdia, že riešia všetky bezpečnostné problémy pri ich použití. Je zodpovednosťou používateľov noriem zaviesť vhodné bezpečnostné a zdravotné postupy a určiť uplatniteľnosť obmedzení používania.
Stručne povedané, účelom normy SEMI F70 je poskytnúť metódu na meranie účinnosti aditíva častíc v systéme distribúcie plynu z hľadiska počtu častíc pridaných do plynu prúdiaceho cez systém.
Pri príprave tohto štandardu sa ako referencia použili nasledujúce štandardy SEMI:
Spomedzi početných testovacích, meracích, analytických a hodnotiacich štúdií, ktoré poskytuje pre podniky v rôznych sektoroch, naša organizácia poskytuje aj testovacie služby na určenie podielu častíc v distribučnom systéme plynu v rámci normy SEMI F70 so svojimi vyškolenými a odborný personál a moderné technologické vybavenie.
Môžete nás požiadať, aby sme vyplnili náš formulár, aby sme dostali schôdzku, získali podrobnejšie informácie alebo požiadali o vyhodnotenie.
