Skúšobná metóda na stanovenie výmeny plynu / účinnosti vypúšťania plynu SEMI F80 systému distribúcie plynu

Norma SEMI F80, vyvinutý v rámci medzinárodného programu noriem s názvom International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), ktorý zahŕňa aktivity v prospech priemyselných odvetví, ako sú polovodiče, integrované obvody, tranzistory, diódy a ploché panely na celom svete, je technicky schválený. Globálnym technickým výborom pre plyny je štandard. Táto norma popisuje skúšobnú metódu na určenie účinnosti výmeny plynu/čistenia systému distribúcie plynu. Táto norma sa vzťahuje na konvenčné kovové čelné tesnenia a povrchové rozvody plynu. Táto testovacia metóda je vhodná pre všetky distribučné systémy vysokočistého plynu používané v závodoch na výrobu polovodičov a porovnateľných oblastiach výskumu a vývoja.

Pred zavedením procesného plynu je dôležité odstrániť okolitý vzduch zo všetkých častí potrubného systému s vysokou čistotou plynu. Je to potrebné z dvoch dôvodov:

• Zvyšný vzduch znižuje čistotu procesného plynu. To platí pre akýkoľvek procesný plyn, či už nebezpečný alebo nie.
• Vzduch obsahuje kyslík a vodnú paru, niektoré špeciálne plyny reagujú s kyslíkom a výsledné reakčné produkty môžu spôsobiť kontamináciu procesu a zlyhanie komponentov potrubia. Iné plyny tvoria pri kontakte s vodnou parou vysoko korozívne produkty a poškodzujú potrubný systém. Korózia zariadenia je tiež príčinou kontaminácie.

Pred vystavením okolitému vzduchu je potrebné odstrániť procesný plyn z ktorejkoľvek časti potrubného systému. Dôvody na to možno uviesť takto:

• Mnohé špeciálne plyny sú vysoko toxické a predstavujú vážne zdravotné riziko pre pracovníkov.
• Niektoré plyny sú vysoko horľavé alebo dokonca samozápalné a predstavujú nebezpečenstvo požiaru alebo výbuchu.
• Na druhej strane niektoré plyny sa pri kontakte s vodnou parou vo vzduchu stávajú vysoko korozívnymi a spôsobujú poškodenie zariadení a zariadení.

Medzi početnými testami, meraniami, analýzami a hodnoteniami, ktoré naša organizácia poskytuje podnikom v rôznych odvetviach, ponúkame aj testovacie služby na určenie účinnosti výmeny/vypúšťania plynov v systémoch distribúcie plynu v rámci normy SEMI F80, a to vďaka nášmu vyškolenému a odbornému personálu a modernému technologickému vybaveniu.