Norma SEMI F106, vyvinutý v rámci medzinárodného programu noriem s názvom International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), ktorý zahŕňa aktivity v prospech priemyselných odvetví, ako sú polovodiče, integrované obvody, tranzistory, diódy a ploché panely na celom svete, je technicky schválený. Globálnym technickým výborom pre plyny je štandard. Táto norma popisuje skúšobnú metódu na zisťovanie vnútorných netesností hélia pre plynové rozvody. Táto norma sa vzťahuje na konvenčné kovové tesnenia a povrchové rozvody plynu.
Predložená testovacia metóda je použiteľná pre všetky typy vysokočistých systémov distribúcie plynu používaných v závodoch na výrobu polovodičov a porovnateľných oblastiach výskumu a vývoja.
Testovanie tesnosti héliom sa používa na zistenie možných netesností v rôznych typoch uzavretých alebo utesnených systémov, ktoré používajú hélium ako sledovací plyn. Pri tomto teste sa meria koncentrácia úniku (úniku) a určuje sa ako miera úniku.
Hlavné kľúčové vlastnosti hélia, vďaka ktorým je ideálny na testovanie tesnosti, sú:
Stručne povedané, testovacie metódy na báze hélia sú vysoko citlivou technológiou testovania netesností, ktorá je vybavená detekciou extrémne malých únikov, ktoré nie sú možné pri iných metódach testovania netesností. Na tento test sa používa technika vysokého vákua. K dispozícii sú veľmi nízke prahové hodnoty testu tesnosti, úroveň citlivosti, ktorá umožňuje bezkonkurenčné porovnania medzi komponentmi balenia.
Naša organizácia, medzi početnými testovacími, meracími, analytickými a hodnotiacimi štúdiami, ktoré poskytuje pre podniky v rôznych sektoroch, poskytuje aj testovacie služby na určenie integrity únikových systémov plynových rozvodov s héliovým detektorom úniku v rozsahu normy SEMI F106, s jeho vyškolený a odborný personál a moderné technologické vybavenie.
Môžete nás požiadať, aby sme vyplnili náš formulár, aby sme dostali schôdzku, získali podrobnejšie informácie alebo požiadali o vyhodnotenie.
