Norma SEMI F111, vyvinutá v rámci medzinárodného normalizačného programu s názvom Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), ktorý zahŕňa činnosti prospešné pre odvetvia ako polovodiče, integrované obvody, tranzistory, diódy a ploché displeje na celom svete, definuje testovaciu metódu na meranie schopnosti odstraňovania častíc filtračnými jednotkami ventilátorov zariadení (EFFU) namontovanými vo vnútri zariadení.
-partikul-temizleme-icin-test-yontemi.jpg "SEMI F111 Testovacia metóda ventilátorovej filtračnej jednotky zariadenia (EFFU) na odstraňovanie častíc")
Keďže vo vnútri zariadenia je nainštalovaný filter pevných častíc, ventilátor a motor, integrita týchto častí je veľmi dôležitá pre výkon filtračnej jednotky ventilátora zariadenia. Preto je konvenčná testovacia metóda na odstraňovanie častíc pre časticové filtre vhodná na vyhodnotenie účinnosti odstraňovania častíc filtračnej jednotky ventilátora zariadenia.
Skúšobná metóda opísaná v tejto norme opisuje metódu hodnotenia pre filtračnú jednotku ventilátora zariadenia inštalovanú v obmedzenom priestore na odstránenie častíc produkovaných v procesnom zariadení. Účinnosť odstraňovania častíc filtračných jednotiek ventilátora zariadenia vo všeobecnosti závisí od výkonu filtračného média a prietoku vzduchu. Na pochopenie výkonu filtračnej jednotky ventilátora zariadenia je potrebné súčasne zvážiť špecifikáciu filtračného média, prietok vzduchu a integritu častí filtračnej jednotky ventilátora zariadenia. Stručne povedané, táto testovacia metóda má za cieľ demonštrovať výkon systému filtračnej jednotky ventilátora zariadenia.
Filtračná jednotka ventilátora zariadenia je druh motorizovaného zariadenia na filtráciu vzduchu. Používa sa na odstraňovanie škodlivých polietavých častíc z okolitého vzduchu a na privádzanie vyčisteného vzduchu do čistých priestorov, laboratórií, zdravotníckych zariadení alebo mikroprostredí. Tieto jednotky väčšinou obsahujú vlastný filter, HEPA filter a vnútorne riadený rozvod vzduchu ventilátora. Filtračné jednotky ventilátora zariadení sú flexibilné a ekonomické riešenia na odstraňovanie častíc z jednosmerne vetraných zariadení.
Pri príprave tohto štandardu sa ako referencia použil nasledujúci štandard SEMI:
Spomedzi mnohých testovacích, meracích, analytických a hodnotiacich štúdií, ktoré poskytuje pre podniky v rôznych sektoroch, naša organizácia poskytuje aj testovacie služby na čistenie častíc filtračnej jednotky ventilátora (EFFU) v rámci štandardu SEMI F111 so svojimi vyškolenými a odbornými pracovníkmi. a moderné technologické vybavenie.
Môžete nás požiadať, aby sme vyplnili náš formulár, aby sme dostali schôdzku, získali podrobnejšie informácie alebo požiadali o vyhodnotenie.
