
Norma SEMI F112, vyvinutý v rámci medzinárodného programu štandardov s názvom International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), sa zameriava na určenie charakteristík sušenia vlhkosťou (tj množstva extrahovateľnej vlhkosti) povrchovej montáže integrovaných systémov rozvodu plynu a konvenčného plynu. distribučné systémy využívajúce analyzátory priestorovej kruhovej spektroskopie (CRDS).
-ile-belirlenmesi-icin-test-yontemi.jpg)
Výsledky tejto testovacej metódy sa používajú na kvalitatívne hodnotenie rozvodu plynu na základe projektu. Môže byť tiež použitý užívateľom s dostatočnými znalosťami ako vstup pre numerickú simuláciu správania sa plynovej distribučnej sústavy.
Pri príprave tohto štandardu sa ako referencia použili nasledujúce štandardy SEMI:
Space-ring spectroscopy (CRDS) je dobre známa a používaná technika na monitorovanie vlhkosti vo vysoko čistých procesných plynoch vo výrobe polovodičov a LED, ako aj pri výrobe priemyselných plynov a chemikálií, preprave a distribúcii. Výhody tejto presnej a nákladovo efektívnej techniky monitorovania vlhkosti priťahujú pozornosť emitentov priemyselných štandardov, ako je SEMI.
Skúšobná metóda prezentovaná v norme SEMI F112 umožňuje užívateľom kvalitatívne zhodnotiť a zoradiť rozvody plynu podľa ich návrhu. Táto norma pokrýva tieto hlavné oblasti použitia:
Vo všeobecnosti sú normy SEMI dobrovoľné technické dohody medzi dodávateľmi a zákazníkmi zamerané na zlepšenie kvality a spoľahlivosti produktov prostredníctvom stabilných dodávok. Tieto štandardy zaisťujú globálnu kompatibilitu produktov, aby splnili výzvy zvyšovania produktivity a zároveň poskytovali celosvetové obchodné príležitosti.
Naša organizácia, medzi početnými testovacími, meracími, analytickými a hodnotiacimi štúdiami, ktoré poskytla pre podniky v rôznych odvetviach, so svojim vyškoleným a odborným personálom a moderným technologickým vybavením v rozsahu normy SEMI F112, vlastnosti sušiace vlhkosťou povrchovo montovaných a konvenčné plynové distribučné systémy s priestorovou prstencovou spektroskopiou (CRDS).Poskytuje aj testovacie služby na stanovenie
