Metode Uji SEMI F101 untuk Menentukan Kinerja Regulator Tekanan dalam Sistem Distribusi Gas

Dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut Peralatan dan Bahan Semikonduktor Internasional (SEMI), standar SEMI F101 mendefinisikan metode pengujian untuk menguji regulator tekanan yang dipertimbangkan untuk dipasang dalam sistem gas. Penerapan metode pengujian ini diharapkan dapat memberikan data pembanding antara regulator yang diuji untuk tujuan kualifikasi. Standar ini menyediakan metode pengujian untuk menentukan karakteristik kinerja regulator.

Metode pengujian ini berlaku untuk pengatur tekanan. Metode pengujian yang mengukur sifat-sifat ini harus dilakukan dalam urutan berikut:

Nomor partikel
kebocoran
merayap / menabrak
Efek tekanan umpan
resolusi
Kurva aliran, kurva histeresis dan tekanan versus nilai histeresis operasi
pengulangan
Menyesuaikan stabilitas tekanan
fungsi langkah respon transien
resonansi
koefisien aliran
Tekanan berlebih
kekuatan

Singkatnya, metode pengujian ini memberikan dasar umum untuk komunikasi antara produsen dan pengguna.

Pabrikan merancang sistem distribusi gas mereka berdasarkan praktik terbaik dan membuat banyak konfigurasi yang sesuai dengan kebutuhan. Sistem distribusi gas yang sesuai standar dan dapat dikonfigurasi dirancang untuk membantu melindungi operator sistem, meningkatkan waktu kerja proses, dan meningkatkan akurasi dan pengulangan proses. Keamanan dan fungsionalitas adalah faktor terpenting dalam proses ini. Sistem mencakup satu atau satu set pengatur tekanan untuk mengalirkan gas secara efektif dari sumber bertekanan tinggi ke seluruh fasilitas pada tekanan dan laju aliran yang diperlukan oleh setiap aplikasi. Pada titik ini, penting untuk menentukan kinerja pengatur tekanan. Untuk pengguna komersial dan industri, tekanan stabil sangat penting agar operasi tidak terganggu.

Saat mempersiapkan standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:

Spesifikasi integritas kebocoran SEMI F1 dari sistem dan komponen perpipaan gas kemurnian tinggi
Metode pengujian SEMI F32 untuk menentukan koefisien aliran dalam katup penutup dengan kemurnian tinggi

Di antara berbagai pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan organisasi kami untuk bisnis di berbagai sektor, kami juga menawarkan layanan pengujian untuk menentukan kinerja regulator tekanan dalam sistem distribusi gas dalam lingkup standar SEMI F101, berkat staf kami yang terlatih dan ahli serta peralatan teknologi canggih.