Metode Uji untuk Menentukan Integritas Kebocoran Sistem Distribusi Gas dengan Detektor Kebocoran Helium SEMI F106

Dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), yang mencakup kegiatan untuk kepentingan industri seperti semikonduktor, sirkuit terpadu, transistor, dioda, dan layar panel datar di seluruh dunia, standar SEMI F106 secara teknis disetujui oleh Komite Teknis Global Gas adalah sebuah standar. Standar ini menjelaskan metode pengujian untuk mendeteksi kebocoran helium internal untuk sistem distribusi gas. Standar ini mencakup penyegelan muka logam konvensional dan sistem distribusi gas yang dipasang di permukaan.

Metode pengujian yang disajikan berlaku untuk semua jenis sistem distribusi gas dengan kemurnian tinggi yang digunakan di pabrik manufaktur semikonduktor dan area penelitian dan pengembangan yang sebanding.

Pengujian kebocoran helium diterapkan untuk mendeteksi kemungkinan kebocoran pada berbagai jenis sistem tertutup atau tertutup yang menggunakan helium sebagai gas pelacak. Dengan pengujian ini, konsentrasi kebocoran (leakage) diukur dan ditentukan sebagai laju kebocoran.

Kualitas kunci utama dari gas helium yang membuatnya ideal untuk pengujian kebocoran adalah:

• Gas helium adalah salah satu molekul terkecil yang memungkinkannya melintasi jalur dengan andal dan cepat.
• Gas helium adalah gas inert, tidak berinteraksi dengan komponen yang diuji dan oleh karena itu aman untuk digunakan.
• Kebisingan perangkat dari helium secara inheren rendah karena ketersediaannya yang terbatas di atmosfer kurang dari 5 ppm dan oleh karena itu memberikan laporan yang sangat akurat.

Singkatnya, metode pengujian berbasis helium adalah teknologi uji kebocoran yang sangat sensitif yang dilengkapi dengan deteksi kebocoran yang sangat kecil yang tidak mungkin dilakukan dengan metode uji kebocoran lainnya. Teknik vakum tinggi digunakan untuk pengujian ini. Ambang uji kebocoran yang sangat rendah disediakan, tingkat sensitivitas yang memungkinkan perbandingan tak tertandingi antara komponen paket.

Organisasi kami, di antara berbagai studi pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan untuk bisnis di berbagai sektor, juga menyediakan layanan pengujian untuk penentuan integritas kebocoran sistem distribusi gas dengan detektor kebocoran helium dalam ruang lingkup standar SEMI F106, dengan staf yang terlatih dan ahli dan peralatan teknologi canggih.