Metode Uji SEMI F114 untuk Penentuan Kontaminan Organik pada Permukaan Basah Sistem dan Komponen Pengiriman Bahan Kimia Kemurnian Ultra Tinggi

Dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut Peralatan dan Bahan Semikonduktor Internasional (SEMI), standar SEMI F114 mendefinisikan metode pengujian untuk menentukan senyawa organik pada permukaan basah sistem dan komponen pengiriman bahan kimia dengan kemurnian ultra-tinggi (UHP).

Metode pengujian ini berlaku untuk sistem dan komponen pengiriman bahan kimia dengan kemurnian sangat tinggi. Sampel uji meliputi katup, regulator, filter dan pengontrol aliran massa, perpipaan, fitting las, dan fitting segel muka. Metode pengujian yang dijelaskan juga digunakan untuk mendeteksi kontaminasi dari area perakitan atau produksi. Metode pengujian ini merinci metode menghilangkan dan mengukur kontaminan organik yang ditemukan pada permukaan basah.

Secara singkat, metode pengujian ini juga dapat digunakan untuk mengevaluasi efektivitas berbagai proses pencucian atau pembersihan.

Saat mempersiapkan standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:

• SEMI E49.8 Panduan untuk sistem distribusi gas dengan kemurnian tinggi dan kemurnian sangat tinggi dalam peralatan manufaktur semikonduktor
• Spesifikasi SEMI F20 untuk batang baja tahan karat 316L, tempa, bentuk yang diekstrusi, pelat dan tabung untuk komponen yang digunakan untuk tujuan umum, aplikasi fabrikasi semikonduktor dengan kemurnian tinggi dan kemurnian ultra tinggi

Polutan organik didefinisikan sebagai bahan kimia berbasis karbon seperti pelarut organik, pestisida, limbah berbasis minyak bumi, kayu, dan senyawa volatil dalam fase gas atau cair. Polutan organik umumnya menyebabkan dampak negatif terhadap lingkungan. Kadar residu polutan organik dalam jumlah kecil yang ditemukan di tanah, air, udara, dan terkadang makanan dianggap berbahaya bagi kesehatan manusia dan lingkungan. Polutan organik dalam fase gas atau cair dapat mencakup pelarut, prekursor dan zat perantara kimia, dan senyawa organik volatil (VOC) dalam bentuk senyawa minyak bumi.

Organisasi kami menyediakan layanan pengujian untuk penentuan polutan organik pada permukaan basah dari sistem dan komponen distribusi bahan kimia dengan kemurnian sangat tinggi dalam lingkup standar SEMI F114, dengan staf yang terlatih dan ahli serta peralatan teknologi canggih, di antara berbagai pengujian, pengukuran , studi analisis dan evaluasi yang diberikannya untuk bisnis di berbagai sektor.