Metode Uji SEMI F73 untuk Evaluasi Scanning Electron Microscopy (SEM) Kondisi Permukaan Basah Komponen Stainless Steel

Dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut Peralatan dan Bahan Semikonduktor Internasional (SEMI), standar SEMI F73 mendefinisikan metode pengujian yang seragam untuk menguji permukaan basah komponen baja tahan karat yang dimaksudkan untuk perakitan dalam sistem distribusi gas dengan kemurnian tinggi. Metode pengujian ini mencirikan kejadian, frekuensi dan, dalam beberapa kasus, identitas cacat permukaan mikroskopis dan kontaminan yang terlihat pada permukaan basah.

Ada korelasi langsung antara hasil metode pengujian ini dan kontaminasi gas proses atau hasil produk dalam proses yang dilayani oleh sistem distribusi gas dengan kemurnian tinggi. Penerapan metode pengujian ini dimaksudkan untuk menghasilkan hasil yang sebanding dan dapat direproduksi di antara berbagai pengguna metode ini untuk tujuan kualifikasi komponen.

Tujuan dari metode pengujian yang dijelaskan dalam standar ini adalah untuk menentukan seperangkat parameter dan kondisi instrumental umum yang akan menghasilkan pengukuran yang tepat dan berulang dari parameter penting kondisi permukaan.

Metode pengujian ini berlaku untuk permukaan basah pada pipa baja tahan karat, fitting, katup dan komponen lainnya untuk menentukan efektivitas perawatan finishing dan pembersihan permukaan. Metode ini diterapkan untuk mengidentifikasi cacat permukaan termasuk lubang, inklusi, goresan, tanda sisa proses, batas butir dan kontaminasi pada permukaan yang dibasahi. Namun, setiap kerusakan permukaan yang terjadi selama preparasi sampel harus dikeluarkan dari penilaian ini.

Sebuah mikroskop elektron pemindaian (SEM) adalah mikroskop elektron yang menggunakan berkas elektron terfokus untuk memindai dan gambar permukaan sampel. Elektron berinteraksi dengan atom dalam sampel dan menghasilkan sinyal berbeda yang berisi informasi tentang komposisi pada permukaan sampel. Perangkat pemindaian standar cocok untuk memeriksa permukaan kering dan konduktif dalam vakum tinggi. Namun, ada juga perangkat pemindaian yang beroperasi dalam vakum rendah, kondisi dan kondisi lembab mulai dari suhu sangat rendah hingga tinggi.

Di antara berbagai pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan organisasi kami untuk bisnis di berbagai sektor, kami juga menawarkan layanan pengujian untuk evaluasi kondisi permukaan basah komponen baja tahan karat menggunakan mikroskop elektron pemindaian (SEM) dalam lingkup standar SEMI F73, berkat staf kami yang terlatih dan ahli serta peralatan teknologi canggih.