SEMI F 64, yang dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), yang mencakup kegiatan yang bermanfaat bagi industri seperti semikonduktor, sirkuit terpadu, transistor, dioda, dan layar panel datar di seluruh dunia, mendefinisikan metode pengujian untuk mengkarakterisasi pengontrol aliran massa yang dimaksudkan untuk dipasang dalam sistem distribusi gas. Metode pengujian ini diterapkan untuk menentukan pengaruh kondisi tekanan masuk dan keluar transien dan tunak terhadap kinerja pengontrol aliran massa.
Metode pengujian ini memberikan dasar umum untuk komunikasi antara produsen dan pengguna mengenai pengujian dan penjelasan efek tekanan pengontrol aliran massa.
Dengan metode pengujian ini, pengaruh tekanan transien hulu (inlet) dan downstream (aliran keluar) pada aliran tertentu dan aktual ditentukan. Metode pengujian ini memberikan hasil aliran keluar aktual versus aliran yang ditentukan dan titik setel pengontrol aliran massa yang dipengaruhi oleh tekanan masuk kondisi tunak. Metode ini berlaku untuk pengontrol aliran massa dengan rentang aliran maksimum hingga 1000 sccm (sentimeter kubik standar per menit).
Peningkatan tekanan menyebabkan gas terkompresi. Gas memiliki kerapatan yang lebih tinggi dan menempati volume yang lebih kecil. Dengan kata lain, jika sejumlah massa gas mengalir, volumenya lebih kecil. Karena massa gas yang sama mengalir melalui pipa yang sama, kecepatan gas terkompresi berkurang.
Dalam aplikasi gas, fluktuasi tekanan gas dapat mempengaruhi kecepatan gas, sehingga secara signifikan mempengaruhi alat ukur aliran gas.
Pada dasarnya, aliran adalah ukuran keluaran udara dalam volume per satuan waktu. Kecepatan mengacu pada seberapa cepat udara bergerak per satuan waktu. Tekanan adalah ukuran gaya yang diterapkan pada suatu area.
Di antara banyak studi pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan organisasi kami untuk bisnis di berbagai sektor, dengan staf yang terlatih dan ahli serta peralatan teknologi canggih, layanan pengujian untuk penentuan efek tekanan pada aliran aktual dan ditampilkan untuk massa perangkat kontrol aliran dalam lingkup standar SEMI F64.
Anda dapat meminta kami untuk mengisi formulir kami untuk mendapatkan janji, untuk mendapatkan informasi lebih lanjut atau untuk meminta evaluasi.
