
Dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut Peralatan dan Bahan Semikonduktor Internasional (SEMI), standar SEMI F112 berfokus pada penentuan karakteristik pengeringan kelembaban (yaitu jumlah kelembaban yang dapat diekstraksi) dari pemasangan permukaan sistem distribusi gas terintegrasi dan gas konvensional sistem distribusi menggunakan penganalisa spektroskopi cincin ruang (CRDS).
-ile-belirlenmesi-icin-test-yontemi.jpg)
Hasil dari metode pengujian ini digunakan untuk pemeringkatan kualitatif sistem distribusi gas berdasarkan desain. Hal ini juga dapat digunakan oleh pengguna dengan pengetahuan yang cukup sebagai masukan untuk simulasi numerik dari perilaku sistem distribusi gas.
Saat mempersiapkan standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:
Space-ring spectroscopy (CRDS) adalah teknik yang terkenal dan digunakan untuk memantau kelembapan dalam gas proses dengan kemurnian tinggi di industri manufaktur semikonduktor dan LED, serta dalam produksi, transportasi, dan distribusi gas industri dan kimia. Manfaat dari teknik pemantauan kelembaban yang akurat dan hemat biaya ini menarik perhatian emiten standar industri seperti SEMI.
Metode pengujian yang disajikan dalam standar SEMI F112 memungkinkan pengguna untuk mengevaluasi dan memeringkat sistem distribusi gas secara kualitatif sesuai dengan desainnya. Standar ini mencakup area aplikasi utama berikut:
Secara umum, standar SEMI adalah perjanjian teknis sukarela antara pemasok dan pelanggan yang bertujuan untuk meningkatkan kualitas dan keandalan produk melalui pasokan yang stabil. Standar ini memastikan kompatibilitas global produk untuk memenuhi tantangan peningkatan produktivitas sambil memberikan peluang bisnis di seluruh dunia.
Organisasi kami, di antara banyak studi pengujian, pengukuran, analisis dan evaluasi yang telah diberikan untuk bisnis di berbagai sektor, dengan staf yang terlatih dan ahli serta peralatan teknologi canggih, dalam ruang lingkup standar SEMI F112, sifat pengeringan kelembaban dari permukaan yang dipasang dan sistem distribusi gas konvensional dengan spektroskopi cincin ruang (CRDS), juga menyediakan layanan pengujian untuk penentuan
