Dikembangkan di bawah program standar internasional yang disebut Peralatan dan Bahan Semikonduktor Internasional (SEMI), standar SEMI F69 adalah standar yang disetujui secara teknis oleh Komite Teknis Global Gas. Standar ini menyediakan metode pengujian yang akan diterapkan untuk mengkarakterisasi integritas mekanik sistem distribusi gas melalui pengujian getaran dan kejut. Metode pengujian yang direkomendasikan di sini termasuk getaran (simulasi transportasi) dan pengujian kejut sistem distribusi gas (termasuk pemasangan konvensional dan permukaan) untuk pemrosesan semikonduktor.
Metode pengujian yang ditentukan dalam standar SEMI F69 berlaku untuk sistem distribusi gas yang tidak dikemas untuk pengiriman. Secara khusus, metode pengujian berlaku untuk komponen distribusi gas yang dirakit dan saling berhubungan dan panel pemasangan terkait, dengan atau tanpa pelindung lembaran logam.
Untuk tujuan standar ini, getaran transportasi dan simulasi diharapkan lebih tinggi dari biasanya pada tingkat getaran yang digunakan. Oleh karena itu, pengujian simulasi transportasi dianggap dapat diterima untuk menilai integritas mekanik yang memadai baik untuk pengiriman dan tegangan getaran siklus hidup sistem distribusi gas.
Tujuan pengujian kejut adalah untuk memberikan penilaian yang lebih rinci tentang kegagalan peralatan akibat guncangan selama pembongkaran, pemasangan, atau penggunaan di lapangan.
Ini mewakili integritas mekanis yang direkomendasikan untuk arsitektur sistem distribusi gas, desain dan teknik perakitan, jika pengujian yang direkomendasikan dalam standar ini berhasil diselesaikan.
Ketika gas digunakan dalam volume yang signifikan, sistem distribusi gas terpusat adalah kebutuhan praktis. Sistem distribusi yang dirancang dengan baik menurunkan biaya pengoperasian, meningkatkan produktivitas, dan meningkatkan keselamatan. Sistem pusat memungkinkan konsolidasi semua silinder di satu lokasi penyimpanan. Dalam aplikasi ini, gas dipisahkan menurut jenisnya untuk meningkatkan keamanan.
Saat menyusun standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:
Di antara berbagai studi pengujian, pengukuran, analisis dan evaluasi yang diberikannya untuk bisnis di berbagai sektor, organisasi kami juga menyediakan layanan pengujian untuk transmisi dan pengujian kejut sistem distribusi gas dalam ruang lingkup standar SEMI F69, dengan staf yang terlatih dan ahli dan peralatan teknologi canggih.
Anda dapat meminta kami untuk mengisi formulir kami untuk mendapatkan janji, untuk mendapatkan informasi lebih lanjut atau untuk meminta evaluasi.
