
Standar SEMI F76, yang dikembangkan di bawah program standar internasional yang disebut Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , mendefinisikan metode pengujian untuk membandingkan komponen pengolahan gas untuk potensi pembentukan partikel dalam layanan gas korosif. Standar ini dirancang sebagai cara praktis untuk menghasilkan data kinerja untuk sekelompok komponen yang akan dibandingkan dalam proses seleksi. Metode pengujian yang dijelaskan berlaku untuk katup, filter partikel, dan regulator tekanan rendah.

Standar SEMI memberikan panduan kepada produsen tentang bahan kimia dan proses material yang terlibat dalam pembuatan chip semikonduktor dan perangkat terkait lainnya. Berkat standar ini, perusahaan dapat memasuki pasar internasional, meminimalkan risiko desain, dan meningkatkan produktivitas mereka.
Untuk industri semikonduktor, kemurnian tinggi, ketahanan kimia, kepadatan dan akurasi adalah alat penting untuk pengembangan produk dan proses manufaktur. Bahan semikonduktor adalah bahan yang memperoleh sifat konduktif dengan efek kerja mekanis yang diterapkan padanya. Bahan-bahan ini, yang merupakan isolator dalam kondisi normal, melepaskan sebagian elektronnya dan menjadi konduktif ketika efek eksternal seperti panas, cahaya, efek magnetik atau tegangan listrik diterapkan. Ketika efek eksternal yang diterapkan ini dihilangkan, zat-zat ini kembali ke keadaan isolasi lagi. Berkat sifat-sifat ini, semikonduktor banyak digunakan di bidang elektronik.
Standar SEMI juga berhubungan dengan sumber gas dan sistem distribusi yang disimpan / dikompresi. Ini juga mengacu secara umum pada gas aditif yang sangat beracun selama langkah-langkah difusi suhu tinggi.
Saat mempersiapkan standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:
Organisasi kami, di antara berbagai studi pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan untuk bisnis di berbagai sektor, juga menyediakan layanan pengujian untuk evaluasi kontribusi partikel dari komponen sistem gas yang terpapar gas korosif dalam ruang lingkup standar SEMI F76, dengan staf terlatih dan ahli dan peralatan teknologi canggih.
