Dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut Peralatan dan Bahan Semikonduktor Internasional (SEMI), standar SEMI F104 menjelaskan persyaratan dan menyajikan metode pengujian untuk mengevaluasi dan membandingkan komponen dalam aliran cairan air ultra murni dalam hal kontribusi partikel. Standar ini mendefinisikan dua metode pengujian untuk mengevaluasi kontribusi partikel: metode uji bilas dan metode uji dinamis.
Kedua metode pengujian diterapkan pada komponen sistem air ultra murni dan kimia cair yang dimaksudkan untuk digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor dan peralatan tambahan.
Metode pengujian yang dijelaskan dalam standar ini adalah pengujian untuk mengukur kontribusi partikulat komponen bila menggunakan air ultra murni sebagai media uji. Untuk tujuan standar ini, air ultra murni harus memenuhi persyaratan minimum yang digariskan dalam standar. Saat menerapkan metode pengujian ini, alat pengukur partikel optik cair digunakan untuk mengukur kinerja. Perangkat ini biasanya digunakan sebagai penghitung partikel untuk mendeteksi dan memantau kontaminasi partikulat di lingkungan bersih tertentu, termasuk udara, air, dan bahan kimia. Penghitung partikel digunakan dalam teknologi industri seperti komponen dan rakitan elektronik, produk obat farmasi dan alat kesehatan, serta minyak dan gas untuk mendukung praktik produksi yang lebih bersih.
Saat mempersiapkan standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:
Di antara berbagai tes, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan organisasi kami untuk bisnis di berbagai sektor, kami juga menawarkan layanan pengujian untuk evaluasi kandungan partikel dalam komponen yang digunakan dalam sistem air ultra-murni dan sistem pengeluaran bahan kimia cair berdasarkan standar SEMI F104, dengan memanfaatkan staf terlatih dan ahli kami serta peralatan teknologi canggih.
Anda dapat meminta kami untuk mengisi formulir kami untuk mendapatkan janji, untuk mendapatkan informasi lebih lanjut atau untuk meminta evaluasi.
