
Dikembangkan di bawah program standar internasional yang disebut International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), tujuan standar SEMI F68 adalah untuk menentukan metode pengujian untuk menentukan efektivitas clarifier untuk menghilangkan pengotor gas aktif dari gas matriks. Artinya, tujuannya adalah untuk menentukan efektivitas pemurni gas untuk menghilangkan jenis polusi tertentu.

Uji efisiensi dilakukan dengan menambahkan tingkat ppm (bagian per sejuta) gas pengotor ke gas matriks murni dan memantau keluaran pemurni uji untuk jenis pengotor aktif. Pengujian ini dilakukan pada laju aliran, suhu operasi, dan tekanan yang direkomendasikan oleh pemasok. Metode pengujian yang dijelaskan berlaku untuk clarifiers skala besar.
Pengoperasian clarifiers yang benar sangat penting untuk mengatasi batas-batas tertentu. Efisiensi clarifiers tidak konstan karena berbagai faktor seperti pemeliharaan atau keterbatasan operasi. Sebuah clarifier mungkin memiliki efisiensi pemisahan 90 persen nominal, sedangkan pada kenyataannya efisiensi dapat berkisar dari 20 persen hingga 60 persen. Jika efisiensi clarifier tidak diketahui, ada risiko bahan bakar yang tidak diinginkan masuk ke mesin utama dan dengan demikian risiko kerusakan yang tinggi.
Partikel-partikel kecil merusak komponen injeksi bahan bakar, mengikis nosel injeksi bahan bakar, dan mengganggu pola semprotan, sehingga menyebabkan distribusi bahan bakar yang tidak merata. Untuk mengurangi kemungkinan masuknya bahan bakar dengan kadar partikel halus yang tinggi, digunakan kombinasi pengendapan, pemurnian, dan penyaringan.
Secara umum, tiga situasi berikut memicu pemantauan efisiensi clarifier:
Saat mempersiapkan standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:
Organisasi kami, di antara berbagai studi pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan untuk bisnis di berbagai sektor, juga menyediakan layanan pengujian untuk menentukan efisiensi kilang dalam ruang lingkup standar SEMI F68, dengan staf yang terlatih dan ahli serta tingkat lanjut peralatan teknologi.
