Dikembangkan di bawah program standar internasional yang disebut Peralatan dan Bahan Semikonduktor Internasional (SEMI), standar SEMI F70 adalah standar yang disetujui secara teknis oleh Komite Teknis Global Gas. Tujuan dari standar ini adalah untuk menyediakan metodologi standar dan metode pengujian untuk mengukur kinerja aditif partikulat dari sistem distribusi gas dalam hal jumlah partikel yang ditambahkan ke gas yang mengalir melalui sistem. Prosedur standar ini dimaksudkan untuk digunakan secara luas oleh pemasok sistem distribusi gas, pemasok peralatan, dan pengguna akhir.
Metode pengujian ini berlaku untuk sistem distribusi gas yang dipasang di permukaan konvensional yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor. Selama pengujian, standar SEMI F70.1-0320 yang melekat pada standar ini diperhitungkan (metode pengujian untuk menentukan kontribusi partikulat dari sistem distribusi gas dan komponennya dengan pengujian benturan).
Salah satu pertimbangan terpenting dalam merancang sistem distribusi gas adalah tingkat kemurnian gas yang dibutuhkan pada setiap titik penggunaan. Menjaga kemurnian gas disederhanakan dengan sistem terpusat. Pilihan bahan untuk pemasangan harus konsisten di seluruh. Misalnya, jika gas tingkat penelitian digunakan, semua konstruksi baja tahan karat dan katup penutup bebas diafragma harus digunakan untuk mencegah kontaminasi aliran gas. Secara umum, ada tiga tingkat kemurnian untuk menggambarkan hampir semua aplikasi: kemurnian serba guna, kemurnian tinggi, dan kemurnian ultra tinggi.
Standar SEMI dan praktik keamanan tidak mengklaim untuk mengatasi semua masalah keamanan untuk penggunaannya. Ini adalah tanggung jawab pengguna standar untuk menetapkan praktik keselamatan dan kesehatan yang sesuai dan untuk menentukan penerapan pembatasan dari penggunaan.
Singkatnya, tujuan standar SEMI F70 adalah untuk menyediakan metode untuk mengukur kinerja aditif partikulat dari sistem distribusi gas dalam hal jumlah partikel yang ditambahkan ke gas yang mengalir melalui sistem.
Saat mempersiapkan standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:
Di antara berbagai studi pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan untuk bisnis di berbagai sektor, organisasi kami juga menyediakan layanan pengujian untuk penentuan kontribusi partikel sistem distribusi gas dalam ruang lingkup standar SEMI F70, dengan pelatihan dan staf ahli dan peralatan teknologi canggih.
Anda dapat meminta kami untuk mengisi formulir kami untuk mendapatkan janji, untuk mendapatkan informasi lebih lanjut atau untuk meminta evaluasi.
