
SEMI F77, yang dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut program International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), yang mencakup kegiatan yang bermanfaat bagi industri seperti semikonduktor, sirkuit terpadu, transistor, dioda, dan layar panel datar di seluruh dunia, mendefinisikan metode pengujian untuk menentukan ketahanan relatif permukaan basah komponen yang dimaksudkan untuk digunakan dalam sistem pengiriman gas korosif untuk manufaktur semikonduktor terhadap korosi pitting. Metode pengujian ini merupakan adaptasi dari standar ASTM G150 yang diterbitkan oleh American Society for Testing and Materials (ASTM) (ASTM G150-18 Metode pengujian standar untuk pengujian suhu pitting kritis elektrokimia baja tahan karat dan paduan terkait). Standar ini bertujuan untuk membedakan antara komposisi paduan atau proses yang akan memengaruhi kinerja korosi permukaan yang dibasahi. Detail standar SEMI F77 terdapat dalam standar ASTM G150, dan disarankan untuk merujuk pada standar ASTM G150 untuk penerapan metode pengujian ini.

Metode pengujian yang dijelaskan dalam standar SEMI F77 mencakup prosedur berbasis suhu pitting kritis elektrokimia yang digunakan untuk menentukan peringkat ketahanan korosi pitting dari kupon uji permukaan pipa yang dibasahi atau permukaan akhir yang representatif yang dimaksudkan untuk digunakan dalam sistem gas korosif. Korosi pitting dikenal sebagai mode kegagalan korosi yang penting dalam sistem distribusi gas semikonduktor, terutama pada komponen dan pipa yang dilas dan terkena gas korosif dan uap air.
Secara singkat, metode pengujian standar SEMI F77 merupakan adaptasi dari metode pengujian standar ASTM G150 dan menjelaskan metode pengujian untuk melakukan adaptasi pada kupon atau bagian permukaan basah yang dipotong dari komponen sistem pasokan gas seperti silinder. Ini adalah metode perendaman basah.
Saat menyusun standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:
Di antara berbagai studi pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang diberikannya untuk bisnis di berbagai sektor, organisasi kami juga menyediakan layanan pengujian untuk menentukan suhu lubang kritis elektrokimia dari permukaan baja tahan karat yang digunakan dalam sistem gas korosif dalam lingkup standar SEMI F77, dengan stafnya yang terlatih dan ahli serta peralatan teknologi canggih. .
