Metode Uji SEMI F113 untuk Transduser Tekanan yang Digunakan dalam Sistem Distribusi Gas

Metode Uji SEMI F113 untuk Transduser Tekanan yang Digunakan dalam Sistem Distribusi Gas

Dalam standar SEMI F113, dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), yang mencakup kegiatan untuk kepentingan industri seperti semikonduktor, sirkuit terpadu, transistor, dioda dan display panel datar di seluruh dunia. , digunakan dalam sistem distribusi gas untuk pemrosesan semikonduktor. Metode pengujian untuk transduser tekanan elektronik dijelaskan.

Metode Uji SEMI F113 untuk Transduser Tekanan yang Digunakan dalam Sistem Distribusi Gas

Metode pengujian yang dijelaskan adalah untuk menguji integritas kebocoran, waktu pemanasan, akurasi tegangan, ketidakakuratan, linieritas, pengulangan, histeresis, reproduktifitas, koefisien termal, bias, siklus hidup yang dipercepat, dan tekanan bukti transduser tekanan dengan rentang tekanan penuh 2757.9 atau kurang dalam sistem distribusi gas, termasuk prosedur.

Saat mempersiapkan standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:

  • Spesifikasi dan pedoman untuk SEMI C59 Nitrogen
  • SEMI E27 Pengontrol aliran massa dan panduan linieritas pengukur aliran massa
  • Manual spesifikasi tekanan untuk pengontrol aliran massa SEMI E28
  • SEMI E49 panduan kinerja perpipaan dengan kemurnian tinggi dan kemurnian sangat tinggi untuk sub-rakitan dan rakitan akhir
  • SEMI E56 Metode pengujian untuk penentuan akurasi, linieritas, pengulangan, reproduktifitas jangka pendek, histeresis, dan deadband pengontrol aliran massa termal
  • Manual analisis sistem pengukuran (MSA) SEMI E89
  • Spesifikasi integritas kebocoran SEMI F1 dari sistem dan komponen perpipaan gas kemurnian tinggi
  • SEMI F62 Metode pengujian untuk menentukan karakteristik kinerja pengontrol aliran massa dari efek suhu sekitar dan gas

Teknologi energi bergantung pada transduser tekanan untuk menciptakan sistem energi yang andal. Transduser tekanan merupakan solusi yang sangat baik untuk biogas, gas alam, dan banyak lagi. Sumber energi ini memerlukan pengukuran tekanan untuk memastikan keamanan dan keandalannya. Industri yang umumnya perlu memantau tekanan gas adalah industri dengan sistem kompleks di mana kesalahan perhitungan tekanan sekecil apa pun dapat menyebabkan bencana.

Organisasi kami juga menyediakan layanan pengujian untuk transduser tekanan yang digunakan dalam sistem distribusi gas dalam ruang lingkup standar SEMI F113, dengan staf yang terlatih dan ahli serta peralatan teknologi canggih, di antara berbagai studi pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan untuk bisnis di berbagai sektor.

WhatsApp