
Dalam standar SEMI F113, dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), yang mencakup kegiatan untuk kepentingan industri seperti semikonduktor, sirkuit terpadu, transistor, dioda dan display panel datar di seluruh dunia. , digunakan dalam sistem distribusi gas untuk pemrosesan semikonduktor. Metode pengujian untuk transduser tekanan elektronik dijelaskan.

Metode pengujian yang dijelaskan adalah untuk menguji integritas kebocoran, waktu pemanasan, akurasi tegangan, ketidakakuratan, linieritas, pengulangan, histeresis, reproduktifitas, koefisien termal, bias, siklus hidup yang dipercepat, dan tekanan bukti transduser tekanan dengan rentang tekanan penuh 2757.9 atau kurang dalam sistem distribusi gas, termasuk prosedur.
Saat mempersiapkan standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:
Teknologi energi bergantung pada transduser tekanan untuk menciptakan sistem energi yang andal. Transduser tekanan merupakan solusi yang sangat baik untuk biogas, gas alam, dan banyak lagi. Sumber energi ini memerlukan pengukuran tekanan untuk memastikan keamanan dan keandalannya. Industri yang umumnya perlu memantau tekanan gas adalah industri dengan sistem kompleks di mana kesalahan perhitungan tekanan sekecil apa pun dapat menyebabkan bencana.
Organisasi kami juga menyediakan layanan pengujian untuk transduser tekanan yang digunakan dalam sistem distribusi gas dalam ruang lingkup standar SEMI F113, dengan staf yang terlatih dan ahli serta peralatan teknologi canggih, di antara berbagai studi pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan untuk bisnis di berbagai sektor.
