Metode Uji Unit Filter Kipas Peralatan SEMI F111 (EFFU) untuk Penghapusan Partikulat

Standar SEMI F111, yang dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), yang mencakup kegiatan yang bermanfaat bagi industri seperti semikonduktor, sirkuit terpadu, transistor, dioda, dan layar panel datar di seluruh dunia, mendefinisikan metode pengujian untuk mengukur kemampuan penghilangan partikel dari unit filter kipas peralatan (EFFU) yang dipasang di dalam peralatan.

Karena ada filter partikulat kipas, kipas dan rakitan motor yang dipasang di dalam peralatan, integritas bagian-bagian ini sangat penting untuk kinerja unit filter kipas peralatan. Oleh karena itu, metode uji penghilangan partikulat konvensional untuk filter partikulat cocok untuk mengevaluasi kinerja penghilangan partikulat unit filter kipas peralatan.

Metode pengujian yang dijelaskan dalam standar ini menjelaskan metode evaluasi untuk unit filter kipas peralatan yang dipasang di ruang terbatas untuk menghilangkan partikel yang dihasilkan di dalam peralatan proses. Kinerja penghilangan partikulat unit filter kipas peralatan umumnya tergantung pada kinerja media filter dan laju aliran udara. Untuk memahami kinerja unit filter kipas peralatan, perlu secara bersamaan mempertimbangkan spesifikasi media filter, laju aliran udara, dan integritas bagian-bagian unit filter kipas peralatan. Secara singkat, metode pengujian ini bertujuan untuk menunjukkan kinerja sistem unit filter kipas peralatan.

Unit filter kipas peralatan adalah sejenis peralatan penyaringan udara bermotor. Ini digunakan untuk menghilangkan partikel udara berbahaya dari udara sekitar dan untuk memasok udara murni ke kamar bersih, laboratorium, fasilitas medis atau lingkungan mikro. Unit-unit ini biasanya memiliki filternya sendiri, filter HEPA, dan distribusi udara kipas yang dikontrol secara internal. Unit filter kipas peralatan adalah solusi fleksibel dan ekonomis untuk menghilangkan partikulat dari peralatan berventilasi satu arah.

Saat menyusun standar ini, standar SEMI berikut diambil sebagai referensi:

• Metode pengujian SEMI F38 untuk kualifikasi efisiensi filter gas di tempat penggunaan

Di antara berbagai studi pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan untuk bisnis di berbagai sektor, organisasi kami juga menyediakan layanan pengujian untuk pembersihan partikel unit filter kipas peralatan (EFFU) dalam lingkup standar SEMI F111, dengan staf yang terlatih dan ahli. dan peralatan teknologi canggih.