
Dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), yang mencakup kegiatan untuk kepentingan industri seperti semikonduktor, sirkuit terpadu, transistor, dioda, dan layar panel datar di seluruh dunia, standar SEMI F71 secara teknis disetujui oleh Komite Teknis Global Gas adalah sebuah standar. Metode pengujian yang ditentukan dalam standar ini berlaku untuk sistem distribusi gas yang dipasang di peralatan manufaktur semikonduktor.

Standar ini tidak dimaksudkan untuk mengatasi semua, jika ada, masalah keamanan yang terkait dengan penggunaannya. Ini adalah tanggung jawab pengguna standar ini untuk menetapkan praktik keselamatan dan kesehatan yang sesuai sebelum digunakan dan untuk menentukan penerapan batasan.
Dalam sistem distribusi gas bertekanan rendah, tekanan gas di saluran utama dan saluran servis pada dasarnya sama dengan yang dikirimkan ke perangkat pengguna. Dalam sistem seperti itu, regulator layanan tidak diperlukan pada jalur layanan terpisah. Sistem perpipaan distribusi gas bertekanan tinggi beroperasi pada tekanan yang lebih tinggi daripada tekanan servis standar yang diberikan kepada pengguna. Dalam sistem seperti itu, regulator servis diperlukan di setiap saluran servis untuk mengontrol tekanan.
Pola perpindahan panas eksternal yang berbeda tergantung pada pengaruh tekanan fluida pipa dan perhitungan suhu dalam menanggapi siklus suhu lingkungan tahunan. Dalam model perpindahan panas, siklus suhu lingkungan diwakili oleh suhu permukaan tanah, yang memiliki fungsi waktu periodik. Namun, hasilnya tidak sensitif terhadap pilihan pola perpindahan panas eksternal dari tekanan pipa. Untuk kasus dasar, yang umumnya mewakili pipa ekspor gas alam, pengaruhnya terhadap suhu gas yang dihitung terbatas.
Banyak bahan dalam sistem distribusi gas mengalami perubahan tergantung pada faktor-faktor di lingkungan. Uji ketahanan terhadap kondisi lingkungan ditujukan untuk mendeteksi perubahan ini.
Sistem distribusi gas harus secara aman dan efektif menyalurkan gas dari sumber bertekanan tinggi ke proses akhir pada tekanan dan laju aliran yang dibutuhkan oleh setiap aplikasi.
Organisasi kami juga menyediakan layanan pengujian untuk siklus suhu sistem distribusi gas dalam ruang lingkup standar SEMI F71, dengan staf yang terlatih dan ahli serta peralatan teknologi canggih, di antara berbagai studi pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan untuk bisnis di berbagai sektor.
