Metode Uji untuk Menentukan Efisiensi Pertukaran / Pelepasan Gas Sistem Distribusi Gas SEMI F80

Dikembangkan dalam kerangka program standar internasional yang disebut International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), yang mencakup kegiatan untuk kepentingan industri seperti semikonduktor, sirkuit terpadu, transistor, dioda, dan layar panel datar di seluruh dunia, standar SEMI F80 secara teknis disetujui oleh Komite Teknis Global Gas adalah sebuah standar. Standar ini menjelaskan metode pengujian untuk menentukan efisiensi pertukaran / pembersihan gas dari sistem distribusi gas. Standar ini mencakup penyegelan muka logam konvensional dan sistem distribusi gas yang dipasang di permukaan. Metode pengujian ini cocok untuk semua sistem distribusi gas dengan kemurnian tinggi yang digunakan di pabrik manufaktur semikonduktor dan area penelitian dan pengembangan yang sebanding.

Penting untuk menghilangkan udara sekitar dari semua bagian sistem perpipaan gas dengan kemurnian tinggi sebelum memasukkan gas proses. Ini diperlukan karena dua alasan:

• Udara yang tersisa mengurangi kemurnian gas proses. Ini berlaku untuk semua gas proses, apakah berbahaya atau tidak.
• Udara mengandung oksigen dan uap air, beberapa gas khusus bereaksi dengan oksigen, dan produk reaksi yang dihasilkan dapat menyebabkan kontaminasi proses dan kegagalan komponen manifold. Gas-gas lain membentuk produk yang sangat korosif ketika bersentuhan dengan uap air dan merusak sistem perpipaan. Korosi peralatan juga merupakan penyebab kontaminasi.

Hal ini diperlukan untuk menghilangkan gas proses dari setiap bagian dari sistem perpipaan sebelum terpapar ke udara sekitar. Alasan untuk ini dapat dicantumkan sebagai berikut:

• Banyak gas khusus sangat beracun dan menimbulkan bahaya kesehatan yang serius bagi pekerja.
• Beberapa gas sangat mudah terbakar atau bahkan menyala sendiri dan menimbulkan bahaya kebakaran atau ledakan.
• Beberapa gas, di sisi lain, menjadi sangat korosif ketika bersentuhan dengan uap air di udara dan menyebabkan kerusakan pada peralatan dan fasilitas.

Di antara berbagai pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan organisasi kami untuk bisnis di berbagai sektor, kami juga menawarkan layanan pengujian untuk menentukan efisiensi pertukaran/pembuangan gas dari sistem distribusi gas dalam lingkup standar SEMI F80, berkat staf kami yang terlatih dan ahli serta peralatan teknologi canggih.