Kaedah Ujian SEMI F101 untuk Menentukan Prestasi Pengatur Tekanan dalam Sistem Pengagihan Gas

Dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), standard SEMI F101 mentakrifkan kaedah ujian untuk menguji pengawal selia tekanan yang dipertimbangkan untuk pemasangan dalam sistem gas. Penggunaan kaedah ujian ini dijangka dapat menyediakan data yang setanding antara pengawal selia yang diuji untuk tujuan kelayakan. Piawaian ini menyediakan kaedah ujian untuk menentukan ciri prestasi pengawal selia.

Kaedah ujian ini digunakan untuk pengawal selia tekanan. Kaedah ujian yang mengukur sifat ini hendaklah dilakukan dalam susunan berikut:

Nombor zarah
kebocoran
merayap / terhempas
Kesan tekanan suapan
resolusi
Keluk aliran, keluk histeresis dan tekanan berbanding nilai histeresis operasi
kebolehulangan
Melaraskan kestabilan tekanan
fungsi langkah tindak balas sementara
resonans
pekali aliran
Tekanan berlebihan
kekuatan

Ringkasnya, kaedah ujian ini menyediakan asas yang sama untuk komunikasi antara pengeluar dan pengguna.

Pengilang mereka bentuk sistem pengedaran gas mereka berdasarkan amalan terbaik dan mencipta banyak konfigurasi untuk memenuhi keperluan. Sistem pengedaran gas yang mematuhi piawaian dan boleh dikonfigurasikan direka untuk membantu melindungi pengendali sistem, meningkatkan masa operasi proses dan meningkatkan ketepatan dan kebolehulangan proses. Keselamatan dan kefungsian adalah faktor terpenting dalam proses ini. Sistem termasuk satu atau satu set pengawal selia tekanan untuk menghantar gas dengan berkesan dari sumber tekanan tinggi ke seluruh kemudahan pada tekanan dan kadar aliran yang diperlukan oleh setiap aplikasi. Pada ketika ini, adalah penting untuk menentukan prestasi pengawal selia tekanan. Bagi pengguna komersial dan industri, tekanan yang stabil adalah penting supaya operasi tidak terjejas.

Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:

SEMI F1 Spesifikasi integriti bocor sistem paip gas ketulenan tinggi dan komponen
Kaedah ujian SEMI F32 untuk menentukan pekali aliran dalam injap tutup ketulenan tinggi

Antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan penilaian yang disediakan oleh organisasi kami untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, kami juga menawarkan perkhidmatan ujian untuk menentukan prestasi pengawal selia tekanan dalam sistem pengedaran gas dalam skop piawaian SEMI F101, hasil daripada kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi canggih kami.