Dibangunkan di bawah program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), piawaian SEMI F70 ialah piawaian yang diluluskan secara teknikal oleh Jawatankuasa Teknikal Global Gas. Tujuan piawaian ini adalah untuk menyediakan metodologi piawai dan kaedah ujian untuk mengukur prestasi aditif zarah sistem pengagihan gas dari segi bilangan zarah yang ditambah kepada gas yang mengalir melalui sistem. Prosedur piawai ini bertujuan untuk digunakan secara meluas oleh pembekal sistem pengedaran gas, pembekal peralatan dan pengguna akhir.
Kaedah ujian ini digunakan untuk sistem pengedaran gas yang dipasang di permukaan konvensional yang digunakan dalam peralatan pembuatan semikonduktor. Semasa ujian, piawaian SEMI F70.1-0320 yang dilampirkan pada piawaian ini diambil kira (kaedah ujian untuk menentukan sumbangan zarah sistem pengedaran gas dan komponennya melalui ujian hentaman).
Salah satu pertimbangan terpenting dalam mereka bentuk sistem pengagihan gas ialah tahap ketulenan gas yang diperlukan pada setiap titik penggunaan. Mengekalkan ketulenan gas dipermudahkan oleh sistem berpusat. Pilihan bahan untuk pemasangan mestilah konsisten sepanjang. Sebagai contoh, jika gas gred penyelidikan digunakan, semua pembinaan keluli tahan karat dan injap tutup bebas diafragma hendaklah digunakan untuk mengelakkan pencemaran aliran gas. Secara umum, terdapat tiga tahap ketulenan untuk menerangkan hampir semua aplikasi: ketulenan serba guna, ketulenan tinggi dan ketulenan ultra tinggi.
Piawaian SEMI dan amalan keselamatan tidak menuntut untuk menangani semua isu keselamatan untuk kegunaannya. Adalah menjadi tanggungjawab pengguna piawaian untuk mewujudkan amalan keselamatan dan kesihatan yang sesuai dan untuk menentukan kebolehgunaan sekatan daripada penggunaan.
Secara ringkasnya, tujuan standard SEMI F70 adalah untuk menyediakan kaedah untuk mengukur prestasi aditif zarah sistem pengedaran gas dari segi bilangan zarah yang ditambah kepada gas yang mengalir melalui sistem.
Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:
Di antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang disediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, organisasi kami juga menyediakan perkhidmatan ujian untuk penentuan sumbangan zarah sistem pengedaran gas dalam skop standard SEMI F70, dengan terlatih dan kakitangan pakar dan peralatan teknologi canggih.
Anda boleh meminta kami mengisi borang kami untuk mendapatkan temujanji, mendapatkan maklumat terperinci atau meminta penilaian.
