Kaedah Ujian untuk Menentukan Kecekapan Penjelas SEMI F68

Dibangunkan di bawah program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), tujuan piawaian SEMI F68 adalah untuk mentakrifkan kaedah ujian untuk menentukan keberkesanan penjernih untuk mengeluarkan bendasing gas aktif daripada gas matriks. Iaitu, tujuannya adalah untuk menentukan keberkesanan penulen gas untuk menghapuskan jenis pencemaran tertentu.

Ujian kecekapan dilakukan dengan menambahkan tahap ppm (bahagian per juta) kekotoran gas kepada gas matriks tulen dan memantau keluaran penulen ujian untuk jenis kekotoran aktif. Ujian ini dilakukan pada kadar aliran, suhu operasi dan tekanan yang disyorkan oleh pembekal. Kaedah ujian yang diterangkan boleh digunakan untuk penjernih berskala besar.

Operasi penjelas yang betul adalah penting untuk mengatasi had tertentu. Kecekapan penjernih tidak tetap disebabkan oleh pelbagai faktor seperti pengehadan penyelenggaraan atau pengendalian. Penjelas mungkin mempunyai kecekapan pemisahan 90 peratus nominal, manakala kecekapan realiti boleh berkisar antara 20 peratus hingga 60 peratus. Jika kecekapan penjernih tidak diketahui, terdapat risiko bahan api yang tidak diingini masuk ke dalam enjin utama dan dengan itu berisiko tinggi kerosakan.

Zarah-zarah kecil merosakkan komponen suntikan bahan api, menghakis muncung suntikan bahan api dan mengganggu corak semburan, yang mengakibatkan pengagihan bahan api yang tidak sekata. Bagi mengurangkan kemungkinan peningkatan selanjutnya bahan api dengan tahap zarah halus yang tinggi, gabungan pemendapan, penulenan dan penapisan digunakan.

Secara umum, tiga situasi berikut mencetuskan pemantauan kecekapan penjelas:

• Apabila keputusan analisis makmal menunjukkan tahap zarah halus yang sangat tinggi dalam bahan api
• Apabila masalah operasi dihadapi dalam sistem pendorong
• Sebagai sebahagian daripada rutin penyelenggaraan berjadual

Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:

• SEMI E29 Panduan kepada tekanan standard, suhu, ketumpatan dan unit aliran yang digunakan dalam meter aliran jisim dan pengawal aliran jisim
• Manual SEMI F6 untuk pembendungan sekunder sistem paip gas berbahaya
• Manual sistem pengagihan gas SEMI F22

Organisasi kami, antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang disediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, juga menyediakan perkhidmatan ujian untuk menentukan kecekapan penapis dalam skop standard SEMI F68, dengan kakitangan terlatih dan pakar serta maju. peralatan teknologi.