
Dibangunkan di bawah program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), piawaian SEMI F69 ialah piawaian yang diluluskan secara teknikal oleh Jawatankuasa Teknikal Global Gas. Piawaian ini menyediakan kaedah ujian untuk digunakan untuk mencirikan integriti mekanikal sistem pengagihan gas melalui ujian getaran dan kejutan. Kaedah ujian yang disyorkan di sini termasuk getaran (simulasi pengangkutan) dan ujian kejutan sistem pengagihan gas (termasuk lekapan konvensional dan permukaan) untuk pemprosesan semikonduktor.

Kaedah ujian yang ditakrifkan dalam standard SEMI F69 digunakan untuk sistem pengagihan gas yang tidak dibungkus untuk penghantaran. Khususnya, kaedah ujian digunakan pada komponen pengedaran gas yang dipasang dan saling bersambung serta panel pemasangan yang berkaitan, dengan atau tanpa perisai kepingan logam.
Untuk tujuan standard ini, getaran pengangkutan dan simulasi dijangka lebih tinggi daripada biasa pada tahap getaran yang digunakan. Oleh itu, ujian simulasi pengangkutan dianggap boleh diterima untuk menilai integriti mekanikal yang mencukupi untuk kedua-dua perkapalan dan tekanan getaran kitaran hayat sistem pengagihan gas.
Tujuan ujian kejutan adalah untuk menyediakan penilaian yang lebih terperinci tentang kegagalan peralatan akibat daripada kejutan semasa membongkar, pemasangan atau penggunaan di lapangan.
Ia mewakili integriti mekanikal yang disyorkan untuk seni bina sistem pengedaran gas, reka bentuk dan teknik pemasangan, setelah berjaya menyelesaikan ujian yang disyorkan dalam piawaian ini.
Apabila gas digunakan dalam jumlah yang besar, sistem pengedaran gas berpusat adalah keperluan praktikal. Sistem pengedaran yang direka dengan baik mengurangkan kos operasi, meningkatkan produktiviti dan meningkatkan keselamatan. Sistem pusat membolehkan penyatuan semua silinder dalam satu lokasi penyimpanan. Dalam aplikasi ini, gas diasingkan mengikut jenisnya untuk meningkatkan keselamatan.
Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:
Di antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang disediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, organisasi kami juga menyediakan perkhidmatan ujian untuk penghantaran dan ujian kejutan sistem pengagihan gas dalam skop standard SEMI F69, dengan kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi canggih.
