Kaedah Ujian SEMI F114 untuk Penentuan Bahan Pencemar Organik dalam Permukaan Basah Sistem Penyampaian Bahan Kimia Ketulenan Ultra Tinggi dan Komponen

Dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), piawaian SEMI F114 mentakrifkan kaedah ujian untuk menentukan sebatian organik pada permukaan basah sistem penghantaran kimia dan komponen ketulenan ultra tinggi (UHP).

Kaedah ujian ini boleh digunakan untuk sistem penghantaran dan komponen kimia ketulenan ultra tinggi. Sampel ujian termasuk injap, pengawal selia, penapis dan pengawal aliran jisim, paip, kelengkapan kimpalan dan kelengkapan kedap muka. Kaedah ujian yang diterangkan juga digunakan untuk mengesan pencemaran dari kawasan pemasangan atau pengeluaran. Kaedah ujian ini memperincikan kaedah membuang dan mengukur bahan cemar organik yang terdapat pada permukaan basah.

Secara ringkas, kaedah ujian ini juga boleh digunakan untuk menilai keberkesanan pelbagai proses pencucian atau pembersihan.

Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:

• SEMI E49.8 Panduan kepada sistem pengedaran gas ketulenan tinggi dan ketulenan ultra tinggi dalam peralatan pembuatan semikonduktor
• Spesifikasi SEMI F20 untuk bar keluli tahan karat 316L, penempaan, bentuk tersemperit, plat dan tiub untuk komponen yang digunakan dalam tujuan umum, aplikasi fabrikasi semikonduktor ketulenan tinggi dan ketulenan ultra tinggi

Bahan pencemar organik ditakrifkan sebagai bahan kimia berasaskan karbon seperti pelarut organik, racun perosak, sisa berasaskan petroleum, kayu balak dan sebatian meruap dalam fasa gas atau cecair. Bahan pencemar organik secara amnya menyebabkan kesan negatif terhadap alam sekitar. Tahap surih sisa pencemar organik yang terdapat dalam tanah, air, udara dan kadangkala makanan dianggap berbahaya kepada kesihatan manusia dan alam sekitar. Bahan pencemar organik dalam fasa gas atau cecair mungkin termasuk pelarut, prekursor dan perantara kimia dan sebatian organik meruap (VOC) dalam bentuk sebatian petroleum.

Organisasi kami menyediakan perkhidmatan ujian untuk penentuan bahan pencemar organik pada permukaan basah sistem pengedaran kimia ketulenan ultra tinggi dan komponen dalam skop standard SEMI F114, dengan kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi canggih, antara pelbagai ujian, pengukuran. , kajian analisis dan penilaian ia menyediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor juga memberi.