Piawaian SEMI F115, yang dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil program Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), yang merangkumi aktiviti yang memberi manfaat kepada industri seperti semikonduktor, litar bersepadu, transistor, diod dan paparan panel rata di seluruh dunia, mentakrifkan kaedah ujian untuk mengenal pasti unsur logam yang terdapat pada permukaan basah sistem dan komponen penghantaran kimia ketulenan ultra tinggi (UHP).
Kaedah ujian ini boleh digunakan untuk sistem penghantaran dan komponen kimia ketulenan ultra tinggi. Contoh ujian termasuk injap, pengawal selia, penapis, pengawal aliran jisim, paip, pemasangan kimpalan dan pemasangan kedap muka. Kaedah ujian ini juga boleh digunakan untuk mengesan pencemaran dari tapak pemasangan atau pembuatan.
Piawaian yang dinyatakan di atas memperincikan kaedah mengekstrak dan mengukur unsur logam boleh tanggal dengan air ultratulen pada permukaan yang dibasahi. Kaedah ujian ini juga boleh digunakan untuk menilai keberkesanan pelbagai proses pencucian atau pembersihan.
Gas ketulenan ultra tinggi digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor. Ketulenan ultra-tinggi secara amnya ditakrifkan sebagai kepekatan kurang daripada 100 ppb untuk sebarang molekul meruap seperti tahap kekotoran atau kelembapan.
Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:
Syarikat kami, antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang disediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, dengan kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi termaju, perkhidmatan ujian untuk penentuan unsur logam pada permukaan basah dengan ketulenan ultra tinggi sistem pengedaran kimia dan komponen dalam skop standard SEMI F115. juga memberi.
Anda boleh meminta kami mengisi borang kami untuk mendapatkan temujanji, mendapatkan maklumat terperinci atau meminta penilaian.
