
Dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), standard SEMI F104 menerangkan keperluan dan membentangkan kaedah ujian untuk menilai dan membandingkan komponen dalam aliran cecair air ultratulen dari segi sumbangan zarah. Piawaian ini mentakrifkan dua kaedah ujian untuk menilai sumbangan zarah: kaedah ujian bilas dan kaedah ujian dinamik.

Kedua-dua kaedah ujian digunakan pada kimia cecair dan komponen sistem air ultratulen yang bertujuan untuk digunakan dalam alat pembuatan semikonduktor dan peralatan sampingan.
Kaedah ujian yang diterangkan dalam piawai ini adalah ujian untuk mengukur sumbangan zarah komponen apabila menggunakan air ultratulen sebagai medium ujian. Untuk tujuan piawaian ini, air ultratulen mesti memenuhi keperluan minimum yang digariskan dalam piawaian. Apabila menggunakan kaedah ujian ini, alat pengukur zarah optik cecair digunakan untuk mengukur prestasi. Peranti ini biasanya digunakan sebagai pembilang zarah untuk mengesan dan memantau pencemaran zarah dalam persekitaran bersih tertentu, termasuk udara, air dan bahan kimia. Kaunter zarah digunakan dalam teknologi perindustrian seperti komponen dan pemasangan elektronik, produk ubat farmaseutikal dan peranti perubatan, dan minyak dan gas untuk menyokong amalan pengeluaran yang lebih bersih.
Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:
Antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan penilaian yang disediakan oleh organisasi kami untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, kami juga menawarkan perkhidmatan ujian untuk penilaian kandungan zarah dalam komponen yang digunakan dalam sistem pendispensan air ultra tulen dan kimia cecair di bawah piawaian SEMI F104, menggunakan kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi canggih.
