Kaedah Ujian SEMI F104 untuk Penilaian Campuran Zarah Komponen yang Digunakan dalam Air Ultratulen dan Sistem Penghantaran Kimia Cecair

Kaedah Ujian SEMI F104 untuk Penilaian Campuran Zarah Komponen yang Digunakan dalam Air Ultratulen dan Sistem Penghantaran Kimia Cecair

Dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), standard SEMI F104 menerangkan keperluan dan membentangkan kaedah ujian untuk menilai dan membandingkan komponen dalam aliran cecair air ultratulen dari segi sumbangan zarah. Piawaian ini mentakrifkan dua kaedah ujian untuk menilai sumbangan zarah: kaedah ujian bilas dan kaedah ujian dinamik.

Kaedah Ujian SEMI F104 untuk Penilaian Campuran Zarah Komponen yang Digunakan dalam Air Ultratulen dan Sistem Penghantaran Kimia Cecair

  • Kaedah ujian bilas menilai prestasi dalam mod basuh apabila komponen berada dalam keadaan statik, iaitu, tiada komponen bergerak aktif dalam komponen yang diuji. Dengan kaedah ujian ini, petunjuk isipadu basuhan yang diperlukan untuk membawa tahap zarah kepada spesifikasi diperolehi.
  • Dalam kaedah ujian dinamik, prestasi dinilai semasa operasi komponen dan petunjuk sumbangan zarah keadaan mantap disebabkan oleh keadaan operasi dinamik diperolehi.

Kedua-dua kaedah ujian digunakan pada kimia cecair dan komponen sistem air ultratulen yang bertujuan untuk digunakan dalam alat pembuatan semikonduktor dan peralatan sampingan.

Kaedah ujian yang diterangkan dalam piawai ini adalah ujian untuk mengukur sumbangan zarah komponen apabila menggunakan air ultratulen sebagai medium ujian. Untuk tujuan piawaian ini, air ultratulen mesti memenuhi keperluan minimum yang digariskan dalam piawaian. Apabila menggunakan kaedah ujian ini, alat pengukur zarah optik cecair digunakan untuk mengukur prestasi. Peranti ini biasanya digunakan sebagai pembilang zarah untuk mengesan dan memantau pencemaran zarah dalam persekitaran bersih tertentu, termasuk udara, air dan bahan kimia. Kaunter zarah digunakan dalam teknologi perindustrian seperti komponen dan pemasangan elektronik, produk ubat farmaseutikal dan peranti perubatan, dan minyak dan gas untuk menyokong amalan pengeluaran yang lebih bersih.

Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:

  • SEMI E49 Panduan prestasi paip ketulenan tinggi dan ketulenan ultra tinggi untuk pemasangan kecil dan pemasangan akhir
  • SEMI F57 Spesifikasi untuk komponen polimer yang digunakan dalam air ultratulen dan sistem penghantaran kimia cecair

Antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan penilaian yang disediakan oleh organisasi kami untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, kami juga menawarkan perkhidmatan ujian untuk penilaian kandungan zarah dalam komponen yang digunakan dalam sistem pendispensan air ultra tulen dan kimia cecair di bawah piawaian SEMI F104, menggunakan kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi canggih.

WhatsApp