Kaedah Ujian SEMI F112 untuk Penentuan Sifat Pengeringan Lembapan Sistem Pengedaran Gas Dilekap Permukaan dan Konvensional oleh Spektroskopi Cincin Rongga (CRDS)

Dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), standard SEMI F112 memfokuskan pada menentukan ciri-ciri pengeringan lembapan (iaitu jumlah lembapan yang boleh diekstrak) bagi lekapan permukaan sistem pengedaran gas bersepadu dan gas konvensional. sistem pengedaran menggunakan penganalisis spektroskopi cincin angkasa (CRDS). Kaedah ujian ditakrifkan untuk

Keputusan kaedah ujian ini digunakan untuk pemeringkatan kualitatif sistem pengagihan gas berdasarkan reka bentuk. Ia juga boleh digunakan oleh pengguna yang mempunyai pengetahuan yang mencukupi sebagai input untuk simulasi berangka kelakuan sistem pengedaran gas.

Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:

• Kaedah ujian untuk standard kelembapan SEMI C15 ppm dan ppb
• SEMI F1 Spesifikasi integriti bocor sistem paip gas ketulenan tinggi dan komponen

Spektroskopi cincin ruang (CRDS) ialah teknik yang terkenal dan digunakan untuk memantau kelembapan dalam gas proses ketulenan tinggi dalam industri semikonduktor dan pembuatan LED, serta dalam pengeluaran, pengangkutan dan pengedaran gas dan kimia industri. Faedah teknik pemantauan kelembapan yang tepat dan kos efektif ini menarik perhatian pengeluar standard industri seperti SEMI.

Kaedah ujian yang dibentangkan dalam standard SEMI F112 membolehkan pengguna menilai secara kualitatif dan menilai sistem pengagihan gas mengikut reka bentuk mereka. Piawaian ini meliputi bidang aplikasi utama berikut:

• Sistem pengedaran gas yang dipasang di permukaan
• Sistem pengedaran gas konvensional
• Kelayakan sistem paip baharu
• Kelayakan reka bentuk pengedaran gas baharu

Secara umumnya, standard SEMI ialah perjanjian teknikal sukarela antara pembekal dan pelanggan yang bertujuan untuk meningkatkan kualiti dan kebolehpercayaan produk melalui bekalan yang stabil. Piawaian ini memastikan keserasian global produk untuk menghadapi cabaran peningkatan produktiviti sambil menyediakan peluang perniagaan di seluruh dunia.

Organisasi kami, antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang telah diberikan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, dengan kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi termaju, dalam skop standard SEMI F112, sifat pengeringan lembapan yang dipasang di permukaan dan sistem pengedaran gas konvensional dengan spektroskopi cincin angkasa (CRDS). Ia juga menyediakan perkhidmatan ujian untuk penentuan