Kaedah Ujian SEMI F73 untuk Pengimbasan Mikroskopi Elektron (SEM) Penilaian Keadaan Permukaan Basah Komponen Keluli Tahan Karat

Dibangunkan dalam rangka program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), standard SEMI F73 mentakrifkan kaedah ujian seragam untuk menguji permukaan basah komponen keluli tahan karat yang bertujuan untuk pemasangan dalam sistem pengedaran gas ketulenan tinggi. Kaedah ujian ini mencirikan kejadian, kekerapan dan, dalam beberapa kes, identiti kecacatan permukaan mikroskopik dan bahan cemar yang dilihat pada permukaan basah.

Terdapat korelasi langsung antara keputusan kaedah ujian ini dan pencemaran gas proses atau hasil produk dalam proses yang disediakan oleh sistem pengedaran gas ketulenan tinggi. Aplikasi kaedah ujian ini bertujuan untuk menghasilkan keputusan yang setanding dan boleh dihasilkan semula di kalangan pelbagai pengguna kaedah ini untuk tujuan kelayakan komponen.

Tujuan kaedah ujian yang diterangkan dalam piawai ini adalah untuk mentakrifkan set am parameter dan keadaan instrumental yang akan menghasilkan ukuran tepat dan boleh berulang bagi parameter penting keadaan permukaan.

Kaedah ujian ini boleh digunakan pada permukaan basah pada paip keluli tahan karat, kelengkapan, injap dan komponen lain untuk menentukan keberkesanan rawatan kemasan dan pembersihan permukaan. Kaedah ini digunakan untuk mengenal pasti kecacatan permukaan termasuk lubang, kemasukan, calar, tanda sisa proses, sempadan butiran dan pencemaran pada permukaan yang dibasahi. Walau bagaimanapun, sebarang kerosakan permukaan yang berlaku semasa penyediaan sampel harus dikecualikan daripada penilaian ini.

Mikroskop elektron pengimbasan (SEM) ialah mikroskop elektron yang menggunakan pancaran elektron terfokus untuk mengimbas dan imej permukaan sampel. Elektron berinteraksi dengan atom dalam sampel dan menghasilkan isyarat berbeza yang mengandungi maklumat tentang komposisi pada permukaan sampel. Peranti pengimbasan standard sesuai untuk memeriksa permukaan kering dan konduktif dalam vakum tinggi. Walau bagaimanapun, terdapat juga peranti pengimbasan yang beroperasi dalam vakum rendah, keadaan lembap dan keadaan antara suhu sangat rendah hingga tinggi.

Antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan penilaian yang disediakan oleh organisasi kami untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, kami juga menawarkan perkhidmatan ujian untuk penilaian keadaan permukaan basah komponen keluli tahan karat menggunakan mikroskop elektron imbasan (SEM) dalam skop piawaian SEMI F73, hasil daripada kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi canggih kami.