Kaedah Ujian Unit Penapis Kipas (EFFU) SEMI F111 untuk Penyingkiran Zarah

Piawaian SEMI F111, yang dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), yang merangkumi aktiviti yang memberi manfaat kepada industri seperti semikonduktor, litar bersepadu, transistor, diod dan paparan panel rata di seluruh dunia, mentakrifkan kaedah ujian untuk mengukur keupayaan penyingkiran zarah unit penapis kipas peralatan (EFFU) yang dipasang di dalam peralatan.

Memandangkan terdapat penapis zarah kipas, pemasangan kipas dan motor dipasang di dalam peralatan, integriti bahagian ini adalah sangat penting untuk prestasi unit penapis kipas peralatan. Oleh itu, kaedah ujian penyingkiran zarah konvensional untuk penapis zarah adalah sesuai untuk menilai prestasi penyingkiran zarah unit penapis kipas peralatan.

Kaedah ujian yang diterangkan dalam piawaian ini menerangkan kaedah penilaian untuk unit penapis kipas peralatan yang dipasang dalam ruang terkurung untuk mengeluarkan zarah yang dihasilkan dalam peralatan proses. Prestasi penyingkiran zarah unit penapis kipas peralatan secara amnya bergantung kepada prestasi media penapis dan kadar aliran udara. Untuk memahami prestasi unit penapis kipas peralatan, adalah perlu untuk mempertimbangkan secara serentak spesifikasi media penapis, kadar aliran udara dan integriti bahagian unit penapis kipas peralatan. Secara ringkas, kaedah ujian ini bertujuan untuk menunjukkan prestasi sistem unit penapis kipas peralatan.

Unit penapis kipas peralatan adalah sejenis peralatan penapisan udara bermotor. Ia digunakan untuk mengeluarkan zarah bawaan udara yang berbahaya dari udara ambien dan untuk membekalkan udara yang telah disucikan kepada membersihkan bilik, makmal, kemudahan perubatan atau persekitaran mikro. Unit ini biasanya mengandungi penapisnya sendiri, penapis HEPA dan pengedaran udara kipas yang dikawal secara dalaman. Unit penapis kipas peralatan adalah penyelesaian yang fleksibel dan menjimatkan untuk mengeluarkan zarah daripada peralatan pengudaraan sehala.

Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:

• Kaedah ujian SEMI F38 untuk kelayakan kecekapan penapis gas titik guna

Di antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang disediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, organisasi kami juga menyediakan perkhidmatan ujian untuk pembersihan zarah unit penapis kipas peralatan (EFFU) dalam skop standard SEMI F111, dengan kakitangannya yang terlatih dan pakar. dan peralatan teknologi canggih.