Dibangunkan dalam rangka program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), yang merangkumi aktiviti untuk faedah industri seperti semikonduktor, litar bersepadu, transistor, diod dan paparan panel rata di seluruh dunia, standard SEMI F71 diluluskan secara teknikal. oleh Jawatankuasa Teknikal Global Gas adalah satu standard. Kaedah ujian yang ditakrifkan dalam piawaian ini digunakan untuk sistem pengagihan gas yang dipasang dalam peralatan pembuatan semikonduktor.
Piawaian ini tidak bertujuan untuk menangani semua, jika ada, isu keselamatan yang berkaitan dengan penggunaannya. Adalah menjadi tanggungjawab pengguna piawaian ini untuk mewujudkan amalan keselamatan dan kesihatan yang sesuai sebelum digunakan dan untuk menentukan kebolehgunaan pengehadan.
Dalam sistem pengedaran gas bertekanan rendah, tekanan gas dalam sesalur kuasa dan talian perkhidmatan adalah sama dengan yang dihantar ke peranti pengguna. Dalam sistem sedemikian, pengawal selia perkhidmatan tidak diperlukan pada talian perkhidmatan yang berasingan. Sistem paip pengagihan gas tekanan tinggi beroperasi pada tekanan yang lebih tinggi daripada tekanan perkhidmatan standard yang diberikan kepada pengguna. Dalam sistem sedemikian, pengawal selia perkhidmatan diperlukan pada setiap talian perkhidmatan untuk mengawal tekanan.
Corak pemindahan haba luaran yang berbeza bergantung pada pengaruh tekanan bendalir saluran paip dan pengiraan suhu sebagai tindak balas kepada kitaran suhu ambien tahunan. Dalam model pemindahan haba, kitaran suhu ambien diwakili oleh suhu permukaan tanah, yang mempunyai fungsi masa berkala. Walau bagaimanapun, keputusannya tidak sensitif kepada pilihan corak pemindahan haba luaran tekanan saluran paip. Untuk kes asas, yang secara amnya mewakili saluran paip eksport gas asli, kesan ke atas suhu gas yang dikira adalah terhad.
Banyak bahan dalam sistem pengedaran gas mengalami perubahan bergantung kepada faktor persekitaran. Ujian rintangan kepada keadaan persekitaran bertujuan untuk mengesan perubahan ini.
Sistem pengedaran gas mesti selamat dan berkesan menghantar gas dari sumber tekanan tinggi ke proses akhir pada tekanan dan kadar aliran yang diperlukan oleh setiap aplikasi.
Organisasi kami juga menyediakan perkhidmatan ujian untuk kitaran suhu sistem pengedaran gas dalam skop standard SEMI F71, dengan kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi canggih, antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang disediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor.
Anda boleh meminta kami mengisi borang kami untuk mendapatkan temujanji, mendapatkan maklumat terperinci atau meminta penilaian.
