SEMI F77, yang dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil program Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), yang merangkumi aktiviti yang memberi manfaat kepada industri seperti semikonduktor, litar bersepadu, transistor, diod dan paparan panel rata di seluruh dunia, mentakrifkan kaedah ujian untuk menentukan rintangan relatif permukaan basah komponen yang bertujuan untuk digunakan dalam sistem penghantaran gas menghakis untuk pembuatan semikonduktor terhadap kakisan lubang. Kaedah ujian ini merupakan adaptasi piawaian ASTM G150 yang diterbitkan oleh Persatuan Pengujian dan Bahan Amerika (ASTM) (kaedah ujian Standard ASTM G150-18 untuk ujian suhu lubang kritikal elektrokimia keluli tahan karat dan aloi berkaitan). Piawaian ini bertujuan untuk membezakan antara komposisi aloi atau proses yang akan mempengaruhi prestasi kakisan permukaan basah. Butiran piawaian SEMI F77 terkandung dalam piawaian ASTM G150, dan disyorkan untuk merujuk kepada piawaian ASTM G150 untuk aplikasi kaedah ujian ini.
Kaedah ujian yang diterangkan dalam piawaian SEMI F77 termasuk prosedur berasaskan suhu pitting kritikal elektrokimia yang digunakan untuk menentukan peringkat rintangan kakisan pitting kupon ujian permukaan basah paip atau permukaan siap mewakili yang dimaksudkan untuk digunakan dalam sistem gas menghakis. Kakisan pitting dikenali sebagai mod penting kegagalan kakisan dalam sistem pengagihan gas semikonduktor, terutamanya dalam komponen dan paip yang dikimpal dan terdedah kepada gas dan lembapan menghakis.
Secara ringkas, kaedah ujian standard SEMI F77 ialah penyesuaian kaedah ujian standard ASTM G150 dan menerangkan kaedah ujian untuk melaksanakan penyesuaian pada kupon atau bahagian permukaan basah yang dipotong daripada komponen sistem bekalan gas seperti silinder. Ini ialah kaedah rendaman basah.
Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:
Di antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang disediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, organisasi kami juga menyediakan perkhidmatan ujian untuk menentukan suhu pitting kritikal elektrokimia permukaan keluli tahan karat yang digunakan dalam sistem gas menghakis dalam skop standard SEMI F77, dengan kakitangannya yang terlatih dan pakar serta peralatan teknologi termaju. .
Anda boleh meminta kami mengisi borang kami untuk mendapatkan temujanji, mendapatkan maklumat terperinci atau meminta penilaian.
