Kaedah Ujian untuk Menentukan Integriti Kebocoran Sistem Pengagihan Gas dengan Pengesan Kebocoran Helium SEMI F106

Dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), yang merangkumi aktiviti untuk faedah industri seperti semikonduktor, litar bersepadu, transistor, diod dan paparan panel rata di seluruh dunia, standard SEMI F106 diluluskan secara teknikal. oleh Jawatankuasa Teknikal Global Gas adalah satu standard. Piawaian ini menerangkan kaedah ujian untuk mengesan kebocoran helium dalaman untuk sistem pengagihan gas. Piawaian ini meliputi kedua-dua sistem pengedap muka logam konvensional dan sistem pengedaran gas yang dipasang di permukaan.

Kaedah ujian yang dibentangkan boleh digunakan untuk semua jenis sistem pengedaran gas ketulenan tinggi yang digunakan dalam loji pembuatan semikonduktor dan kawasan penyelidikan dan pembangunan yang setanding.

Ujian kebocoran helium digunakan untuk mengesan kemungkinan kebocoran dalam pelbagai jenis sistem tertutup atau tertutup yang menggunakan helium sebagai gas pengesan. Dengan ujian ini, kepekatan kebocoran (leakage) diukur dan ditentukan sebagai kadar kebocoran.

Kualiti utama utama gas helium yang menjadikannya ideal untuk ujian kebocoran ialah:

• Gas helium adalah salah satu molekul terkecil yang membolehkannya melintasi laluan dengan pasti dan cepat.
• Gas helium ialah gas lengai, tidak berinteraksi dengan komponen yang diuji dan oleh itu selamat digunakan.
• Bunyi peranti daripada helium sememangnya rendah kerana ketersediaannya yang terhad di atmosfera pada kurang daripada 5 ppm dan oleh itu memberikan laporan yang sangat tepat.

Ringkasnya, kaedah ujian berasaskan helium ialah teknologi ujian kebocoran yang sangat sensitif yang dilengkapi dengan pengesanan kebocoran yang sangat kecil yang tidak mungkin dilakukan dengan kaedah ujian kebocoran lain. Teknik vakum tinggi digunakan semasa ujian ini. Ambang ujian kebocoran yang sangat rendah disediakan, tahap sensitiviti yang membolehkan perbandingan yang tiada tandingan antara komponen pakej.

Organisasi kami, antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang disediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, juga menyediakan perkhidmatan ujian untuk penentuan integriti kebocoran sistem pengagihan gas dengan pengesan kebocoran helium dalam skop standard SEMI F106, dengan kakitangannya yang terlatih dan pakar serta peralatan teknologi termaju.