Kaedah Ujian SEMI F113 untuk Transduser Tekanan Digunakan dalam Sistem Pengagihan Gas

Dalam standard SEMI F113, dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), yang merangkumi aktiviti untuk faedah industri seperti semikonduktor, litar bersepadu, transistor, diod dan paparan panel rata di seluruh dunia , ia digunakan dalam sistem pengedaran gas untuk pemprosesan semikonduktor. Kaedah ujian untuk transduser tekanan elektronik diterangkan.

Kaedah ujian yang diterangkan adalah untuk menguji integriti kebocoran, masa memanaskan badan, ketepatan voltan, ketidaktepatan, kelinearan, kebolehulangan, histerisis, kebolehulangan, pekali haba, pincang, kitaran hayat dipercepatkan, dan tekanan bukti transduser tekanan dengan julat tekanan penuh 2757.9 atau kurang dalam sistem pengagihan gas.termasuk prosedur.

Semasa menyediakan piawaian ini, piawaian SEMI berikut telah diambil sebagai rujukan:

• Spesifikasi dan garis panduan untuk SEMI C59 Nitrogen
• SEMI E27 Pengawal aliran jisim dan panduan lineariti meter aliran jisim
• Manual spesifikasi tekanan untuk pengawal aliran jisim SEMI E28
• Panduan prestasi paip SEMI E49 ketulenan tinggi dan ketulenan ultra tinggi untuk pemasangan kecil dan pemasangan akhir
• SEMI E56 Kaedah ujian untuk penentuan ketepatan, kelinearan, kebolehulangan, kebolehulangan jangka pendek, histerisis dan jalur mati pengawal aliran jisim haba
• Manual analisis sistem pengukuran (MSA) SEMI E89
• SEMI F1 Spesifikasi integriti bocor sistem paip gas ketulenan tinggi dan komponen
• SEMI F62 Kaedah ujian untuk menentukan ciri prestasi pengawal aliran jisim daripada kesan suhu ambien dan gas

Teknologi tenaga bergantung pada transduser tekanan untuk mencipta sistem tenaga yang andal. Transduser tekanan merupakan penyelesaian yang sangat baik untuk biogas, gas asli dan banyak lagi. Sumber tenaga ini memerlukan pengukuran tekanan untuk memastikan ia selamat dan boleh dipercayai. Industri yang secara amnya perlu memantau tekanan gas ialah industri yang mempunyai sistem yang kompleks di mana salah pengiraan tekanan yang paling kecil pun boleh membawa kepada bencana.

Organisasi kami juga menyediakan perkhidmatan ujian untuk transduser tekanan yang digunakan dalam sistem pengedaran gas dalam skop standard SEMI F113, dengan kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi canggih, antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang disediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor.