
SEMI F 64, yang dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), yang merangkumi aktiviti yang memberi manfaat kepada industri seperti semikonduktor, litar bersepadu, transistor, diod dan paparan panel rata di seluruh dunia, mentakrifkan kaedah ujian untuk mencirikan pengawal aliran jisim yang bertujuan untuk pemasangan dalam sistem pengagihan gas. Kaedah ujian ini digunakan untuk menentukan kesan keadaan tekanan masuk dan keluar sementara dan keadaan mantap terhadap prestasi pengawal aliran jisim.

Kaedah ujian ini menyediakan asas biasa untuk komunikasi antara pengeluar dan pengguna mengenai ujian dan penjelasan kesan tekanan pengawal aliran jisim.
Dengan kaedah ujian ini, kesan tekanan sementara hulu (masuk) dan hilir (aliran keluar) pada aliran tertentu dan sebenar ditentukan. Kaedah ujian ini memberikan keputusan aliran keluar sebenar berbanding aliran tertentu dan titik tetapan pengawal aliran jisim yang dipengaruhi oleh tekanan masukan keadaan mantap. Kaedah ini digunakan untuk pengawal aliran jisim dengan julat aliran maksimum sehingga 1000 sccm (sentimeter padu standard seminit).
Peningkatan tekanan menyebabkan gas dimampatkan. Gas mempunyai ketumpatan yang lebih tinggi dan menduduki isipadu yang lebih kecil. Dengan kata lain, jika jisim gas tertentu mengalir, isipadunya lebih kecil. Oleh kerana jisim gas yang sama mengalir melalui paip yang sama, halaju gas termampat berkurangan.
Dalam aplikasi gas, turun naik tekanan gas boleh menjejaskan halaju gas, sekali gus menjejaskan dengan ketara alat pengukur aliran gas.
Pada asasnya, aliran ialah ukuran keluaran udara dalam isipadu per unit masa. Kelajuan merujuk kepada kelajuan udara bergerak setiap unit masa. Tekanan ialah ukuran daya yang dikenakan pada sesuatu kawasan.
Di antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan kajian penilaian yang organisasi kami sediakan untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, dengan kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi canggih, perkhidmatan ujian untuk menentukan kesan tekanan ke atas aliran sebenar dan ditunjukkan untuk jisim. peranti kawalan aliran dalam skop standard SEMI F64. memberikan.
