Kaedah Ujian Penentuan Pertukaran Gas / Kecekapan Nyahcas Sistem Agihan Gas SEMI F80

Dibangunkan dalam rangka kerja program piawaian antarabangsa yang dipanggil Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa (SEMI), yang merangkumi aktiviti untuk faedah industri seperti semikonduktor, litar bersepadu, transistor, diod dan paparan panel rata di seluruh dunia, standard SEMI F80 diluluskan secara teknikal. oleh Jawatankuasa Teknikal Global Gas adalah satu standard. Piawaian ini menerangkan kaedah ujian untuk menentukan pertukaran gas / kecekapan pembersihan sistem pengagihan gas. Piawaian ini meliputi kedua-dua sistem pengedap muka logam konvensional dan sistem pengedaran gas yang dipasang di permukaan. Kaedah ujian ini sesuai untuk semua sistem pengedaran gas ketulenan tinggi yang digunakan dalam loji pembuatan semikonduktor dan kawasan penyelidikan dan pembangunan yang setanding.

Adalah penting untuk mengeluarkan udara ambien dari semua bahagian sistem paip gas ketulenan tinggi sebelum pengenalan gas proses. Ini perlu kerana dua sebab:

• Udara yang tinggal mengurangkan ketulenan gas proses. Ini terpakai kepada mana-mana gas proses, sama ada berbahaya atau tidak.
• Udara mengandungi oksigen dan wap air, beberapa gas khas bertindak balas dengan oksigen, dan produk tindak balas yang terhasil boleh menyebabkan pencemaran proses dan kegagalan komponen manifold. Gas lain membentuk produk yang sangat menghakis apabila bersentuhan dengan wap air dan merosakkan sistem paip. Kakisan peralatan juga merupakan punca pencemaran.

Ia adalah perlu untuk mengeluarkan gas proses dari mana-mana bahagian sistem paip sebelum terdedah kepada udara ambien. Sebab-sebab ini boleh disenaraikan seperti berikut:

• Banyak gas khusus adalah sangat toksik dan menimbulkan bahaya kesihatan yang serius kepada pekerja.
• Sesetengah gas sangat mudah terbakar atau bahkan menyala sendiri dan menimbulkan bahaya kebakaran atau letupan.
• Sesetengah gas, sebaliknya, menjadi sangat menghakis apabila bersentuhan dengan wap air di udara dan menyebabkan kerosakan pada peralatan dan kemudahan.

Antara pelbagai ujian, pengukuran, analisis dan penilaian yang disediakan oleh organisasi kami untuk perniagaan dalam pelbagai sektor, kami juga menawarkan perkhidmatan ujian untuk menentukan kecekapan pertukaran/pelepasan gas sistem pengedaran gas dalam skop piawaian SEMI F80, hasil daripada kakitangan terlatih dan pakar serta peralatan teknologi canggih kami.