SEMI F104 Метод за изпитване за оценка на примес на прахови частици на компоненти, използвани в системи за доставка на свръхчиста вода и течни химикали

Разработен в рамките на международна програма за стандарти, наречена Международно полупроводниково оборудване и материали (SEMI), стандартът SEMI F104 описва изискванията и представя методи за изпитване за оценка и сравняване на компонентите в потока на свръхчиста вода по отношение на приноса на частици. Този стандарт дефинира два метода за изпитване за оценка на приноса на частиците: метод за изплакване и метод за динамично изпитване.

Методът за тестване на изплакване оценява ефективността в режим на измиване, когато компонентът е в статично състояние, тоест няма активно движещ се компонент в тествания компонент. С този метод на изпитване се получава индикация за обема на измиване, необходим за привеждане на нивата на частиците до спецификацията.
При метода за динамично изпитване производителността се оценява по време на работа на компонента и се получава индикация за приноса на частиците в стационарно състояние, дължащ се на динамичните работни условия.

И двата метода на изпитване се прилагат към компонентите на системата за течни химикали и свръхчиста вода, предназначени за използване в инструменти за производство на полупроводници и спомагателно оборудване.

Методите за изпитване, описани в този стандарт, са тестове за измерване на приноса на частиците на компонентите при използване на свръхчиста вода като среда за изпитване. За целите на този стандарт ултрачистата вода трябва да отговаря на минималните изисквания, посочени в стандарта. Когато се прилагат тези методи за изпитване, се използва инструмент за измерване на течни оптични частици за измерване на производителността. Това устройство обикновено се използва като брояч на частици за откриване и наблюдение на замърсяване с частици в определени чисти среди, включително въздух, вода и химикали. Броячите на частици се използват в индустриални технологии като електронни компоненти и възли, фармацевтични лекарствени продукти и медицински изделия и нефт и газ за подкрепа на по-чисти производствени практики.

При изготвянето на този стандарт за справка бяха взети следните SEMI стандарти:

SEMI E49 Ръководство за ефективност на тръбопроводите с висока и свръхвисока чистота за подвъзли и крайни възли
SEMI F57 Спецификация за полимерни компоненти, използвани в системи за доставяне на свръхчиста вода и течни химикали

Сред многобройните тестове, измервания, анализи и оценки, които нашата организация предоставя на фирми в различни сектори, ние предлагаме и услуги за тестване за оценка на съдържанието на частици в компоненти, използвани в системи за дозиране на ултрачиста вода и течни химикали по стандарта SEMI F104, използвайки нашия обучен и експертен персонал и модерно технологично оборудване.