SEMI F114 Метод за изпитване за определяне на органични замърсители във влажни повърхности на системи и компоненти за доставка на химикали с висока чистота

Разработен в рамките на международна стандартна програма, наречена International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), стандартът SEMI F114 дефинира тестов метод за определяне на органични съединения върху мокрите повърхности на системи и компоненти за доставяне на химикали със свръхвисока чистота (UHP).

Този метод за изпитване е приложим за системи и компоненти за доставяне на химикали с изключително висока чистота. Примерите за тестове включват клапани, регулатори, филтри и контролери за масов дебит, тръбопроводи, заваръчни фитинги и фитинги за лицево уплътнение. Описаният метод за изпитване се използва и за откриване на замърсяване от монтажна или производствена зона. Този метод за изпитване подробно описва метода за отстраняване и измерване на органични замърсители, открити върху мокри повърхности.

Накратко, този метод за изпитване може да се използва и за оценка на ефективността на различни процеси на измиване или почистване.

При изготвянето на този стандарт за справка бяха взети следните SEMI стандарти:

• SEMI E49.8 Ръководство за газоразпределителни системи с висока и свръхвисока чистота в оборудване за производство на полупроводници
• SEMI F20 Спецификация за пръти от неръждаема стомана 316L, изковки, екструдирани форми, плочи и тръби за компоненти, използвани за общо предназначение, приложения за производство на полупроводници с висока чистота и свръхвисока чистота

Органичните замърсители се определят като химикали на въглеродна основа, като например органични разтворители, пестициди, отпадъци на петролна основа, дървен материал и летливи съединения в газообразна или течна фаза. Органичните замърсители обикновено оказват отрицателно въздействие върху околната среда. Следови нива на остатъци от органични замърсители, открити в почвата, водата, въздуха и понякога в храната, се считат за вредни за човешкото здраве и околната среда. Органичните замърсители в газообразна или течна фаза могат да включват разтворители, химически прекурсори и междинни продукти, както и летливи органични съединения (ЛОС) под формата на петролни съединения.

Нашата организация предоставя тестови услуги за определяне на органични замърсители върху мокрите повърхности на системи за разпределение на химикали и компоненти със свръхвисока чистота в рамките на стандарта SEMI F114, със своя обучен и експертен персонал и модерно технологично оборудване, сред многобройните тестове, измервания , анализи и оценъчни проучвания, които предоставя за бизнеса в различни сектори.