SEMI F73 Метод за изпитване за сканираща електронна микроскопия (SEM) Оценка на състоянието на мокра повърхност на компоненти от неръждаема стомана

Разработен в рамките на международна стандартна програма, наречена International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), стандартът SEMI F73 определя единен метод за изпитване за тестване на мокри повърхности на компоненти от неръждаема стомана, предназначени за монтаж в газоразпределителни системи с висока чистота. Този метод на изпитване характеризира появата, честотата и в някои случаи идентичността на микроскопични повърхностни дефекти и замърсители, наблюдавани върху мокри повърхности.

Съществува пряка връзка между резултатите от този метод за изпитване и замърсяването на технологичните газове или добивите на продукти в процеси, обслужвани от газоразпределителни системи с висока чистота. Прилагането на този метод за изпитване има за цел да даде сравними и възпроизводими резултати сред различните потребители на този метод с цел квалификация на компонентите.

Целта на метода за изпитване, описан в този стандарт, е да се определи общ набор от инструментални параметри и условия, които ще дадат точни и повторяеми измервания на важни параметри на състоянието на повърхността.

Този метод за изпитване е приложим за мокри повърхности върху тръби от неръждаема стомана, фитинги, клапани и други компоненти, за да се определи ефективността на обработката на повърхността и почистването. Този метод се прилага за идентифициране на повърхностни дефекти, включително вдлъбнатини, включвания, драскотини, остатъчни следи от процеса, граници на зърната и замърсявания върху навлажнени повърхности. Въпреки това, всякакви повърхностни повреди, възникнали по време на подготовката на пробата, трябва да бъдат изключени от тази оценка.

Сканиращият електронен микроскоп (SEM) е електронен микроскоп, който използва фокусиран лъч от електрони за сканиране и изобразяване на повърхността на пробата. Електроните взаимодействат с атомите в пробата и произвеждат различни сигнали, съдържащи информация за състава на повърхността на пробата. Стандартните сканиращи устройства са подходящи за проверка на сухи и проводими повърхности във висок вакуум. Съществуват обаче и сканиращи устройства, които работят при нисък вакуум, влажни условия и условия, вариращи от много ниски до високи температури.

Сред многобройните тестове, измервания, анализи и оценки, които нашата организация предоставя на фирми в различни сектори, ние предлагаме и услуги за тестване за оценка на състоянието на мокрите повърхности на компоненти от неръждаема стомана, използвайки сканираща електронна микроскопия (SEM) в рамките на стандарта SEMI F73, благодарение на нашия обучен и експертен персонал и модерно технологично оборудване.