Метод за изпитване за определяне целостта на течове на газоразпределителни системи с детектор за течове на хелий SEMI F106

Разработен в рамките на международна програма за стандарти, наречена International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), която включва дейности в полза на индустрии като полупроводници, интегрални схеми, транзистори, диоди и плосък дисплей по целия свят, стандартът SEMI F106 е технически одобрен от Глобалния технически комитет по газовете е стандарт. Този стандарт описва метод за изпитване за откриване на вътрешни течове на хелий за газоразпределителни системи. Този стандарт обхваща както конвенционалните метални лицеви уплътнения, така и повърхностно монтирани газоразпределителни системи.

Представеният метод за изпитване е приложим за всички видове газоразпределителни системи с висока чистота, използвани в заводи за производство на полупроводници и съпоставими области на научноизследователска и развойна дейност.

Тестването за течове на хелий се прилага за откриване на възможни течове в различни видове затворени или запечатани системи, които използват хелий като индикаторен газ. С този тест концентрацията на теч (изтичане) се измерва и определя като скорост на теч.

Основните ключови качества на газа хелий, които го правят идеален за тестване на течове, са:

• Газът хелий е една от най-малките молекули, която му позволява да пресича пътищата си надеждно и бързо.
• Газът хелий е инертен газ, не взаимодейства с тестваните компоненти и следователно е безопасен за употреба.
• Шумът на устройството от хелий по своята същност е нисък поради ограничената му наличност в атмосферата при по-малко от 5 ppm и следователно дава изключително точни отчети.

Накратко, тестовите методи на базата на хелий са високочувствителна технология за тестване на течове, оборудвана с откриване на изключително малки течове, които не са възможни с други методи за тестване на течове. По време на този тест се използва техника с висок вакуум. Осигурени са много ниски прагове за изпитване на теч, ниво на чувствителност, което позволява несравними сравнения между компонентите на опаковката.

Нашата организация, сред многобройните изследвания, измервания, анализи и оценки, които предоставя за бизнеса в различни сектори, също така предоставя тестови услуги за определяне на целостта на теч на газоразпределителни системи с детектор за течове на хелий в обхвата на стандарта SEMI F106, с неговият обучен и експертен персонал и модерно технологично оборудване.