SEMI F76 Метод за изпитване за оценка на приноса на прахови частици от компоненти на газовата система, изложени на корозивен газ

SEMI F76 Метод за изпитване за оценка на приноса на прахови частици от компоненти на газовата система, изложени на корозивен газ

Стандартът SEMI F76, разработен по международна програма за стандартизация, наречена Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , определя метод за изпитване за сравняване на компоненти за обработка на газ за потенциално генериране на частици при работа с корозивни газове. Този стандарт е разработен като практичен начин за генериране на данни за производителността на група компоненти, които ще бъдат сравнявани в процес на подбор. Описаният метод за изпитване е приложим за клапани, филтри за частици и регулатори за ниско налягане.

SEMI F76 Метод за изпитване за оценка на приноса на прахови частици от компоненти на газовата система, изложени на корозивен газ

Стандартите SEMI предоставят на производителите насоки относно химикалите и материалните процеси, участващи в производството на полупроводникови чипове и други свързани устройства. Благодарение на тези стандарти компаниите могат да навлизат на международните пазари, да намалят до минимум рисковете при проектирането и да увеличат своята производителност.

За полупроводниковата индустрия високата чистота, химическа устойчивост, плътност и точност са важни инструменти за разработване на продукти и производствени процеси. Полупроводниковите материали са материали, които придобиват проводими свойства с ефекта на механична работа, приложена върху тях. Тези материали, които са изолатори при нормални условия, освобождават част от своите електрони и стават проводими, когато се прилагат външни ефекти като топлина, светлина, магнитен ефект или електрическо напрежение. Когато този приложен външен ефект се отстрани, тези вещества се връщат отново в изолационно състояние. Благодарение на тези свойства, полупроводниците се използват широко в областта на електрониката.

Стандартите SEMI също се отнасят до източници на съхраняван/сгъстен газ и разпределителни системи. Също така се отнася най-общо до силно токсични адитивни газове по време на етапите на високотемпературна дифузия.

При изготвянето на този стандарт за справка бяха взети следните SEMI стандарти:

  • Спецификация за SEMI C59 азот
  • SEMI E66 Метод за изпитване за определяне на приноса на частиците от контролери за масов поток
  • SEMI F43 пречистватели на газ на място и газови филтри, както и метод за изпитване за определяне на добавка на прахови частици

Нашата организация, сред многобройните изследвания, измервания, анализи и оценки, които предоставя за бизнеса в различни сектори, също така предоставя тестови услуги за оценка на приноса на частици от компонентите на газовата система, изложени на корозивен газ в обхвата на стандарта SEMI F76, със своите обучен и експертен персонал и съвременно технологично оборудване.

WhatsApp