
Стандартът SEMI F115, разработен в рамките на международна програма за стандартизация, наречена Международна програма за полупроводниково оборудване и материали (SEMI), която включва дейности в полза на индустрии като полупроводници, интегрални схеми, транзистори, диоди и плоски дисплеи по целия свят, определя метод за изпитване за идентифициране на метални елементи, присъстващи върху мокрите повърхности на системи и компоненти за доставяне на химикали с ултрависока чистота (UHP).

Този метод за изпитване е приложим за системи и компоненти за доставяне на химикали с изключително висока чистота. Примерите за тестове включват клапани, регулатори, филтри, контролери на масовия поток, тръбопроводи, заваръчни възли и възли за лицево уплътнение. Този метод на изпитване може да се използва и за откриване на замърсяване от монтажен или производствен обект.
Гореспоменатият стандарт подробно описва метода за извличане и измерване на подвижните метални елементи с ултрачиста вода върху навлажнени повърхности. Този метод на изпитване може да се използва и за оценка на ефективността на различни процеси на измиване или почистване.
Газовете с изключително висока чистота се използват широко в полупроводниковата индустрия. Свръхвисоката чистота обикновено се определя като концентрация под 100 ppb за всякакви летливи молекули, като ниво на примеси или влага.
При изготвянето на този стандарт за справка бяха взети следните SEMI стандарти:
Нашата компания, сред многобройните изследвания, измервания, анализи и оценки, които предоставя за бизнеса в различни сектори, със своя обучен и експертен персонал и модерно технологично оборудване, тестови услуги за определяне на метални елементи върху мокри повърхности с свръхвисока чистота Химически разпределителни системи и компоненти в обхвата на стандарта SEMI F115. също дава.
