SEMI F115 Метод за изпитване за определяне на метални елементи във влажни повърхности на системи и компоненти за доставка на химикали с висока чистота

SEMI F115 Метод за изпитване за определяне на метални елементи във влажни повърхности на системи и компоненти за доставка на химикали с висока чистота

Стандартът SEMI F115, разработен в рамките на международна програма за стандартизация, наречена Международна програма за полупроводниково оборудване и материали (SEMI), която включва дейности в полза на индустрии като полупроводници, интегрални схеми, транзистори, диоди и плоски дисплеи по целия свят, определя метод за изпитване за идентифициране на метални елементи, присъстващи върху мокрите повърхности на системи и компоненти за доставяне на химикали с ултрависока чистота (UHP).

SEMI F115 Метод за изпитване за определяне на метални елементи във влажни повърхности на системи и компоненти за доставка на химикали с висока чистота

Този метод за изпитване е приложим за системи и компоненти за доставяне на химикали с изключително висока чистота. Примерите за тестове включват клапани, регулатори, филтри, контролери на масовия поток, тръбопроводи, заваръчни възли и възли за лицево уплътнение. Този метод на изпитване може да се използва и за откриване на замърсяване от монтажен или производствен обект.

Гореспоменатият стандарт подробно описва метода за извличане и измерване на подвижните метални елементи с ултрачиста вода върху навлажнени повърхности. Този метод на изпитване може да се използва и за оценка на ефективността на различни процеси на измиване или почистване.

Газовете с изключително висока чистота се използват широко в полупроводниковата индустрия. Свръхвисоката чистота обикновено се определя като концентрация под 100 ppb за всякакви летливи молекули, като ниво на примеси или влага.

При изготвянето на този стандарт за справка бяха взети следните SEMI стандарти:

  • SEMI E49.2 Ръководство за квалификация на полимерни групи, използвани за течни химически системи в полупроводниково оборудване
  • SEMI E49.8 Ръководство за газоразпределителни системи с висока и свръхвисока чистота в оборудване за производство на полупроводници
  • SEMI F20 Спецификация за пръти от неръждаема стомана 316L, изковки, екструдирани форми, плочи и тръби за компоненти, използвани за общо предназначение, приложения за производство на полупроводници с висока чистота и свръхвисока чистота
  • SEMI F63 Водопровод за ултрачиста вода, използван в обработката на полупроводници

Нашата компания, сред многобройните изследвания, измервания, анализи и оценки, които предоставя за бизнеса в различни сектори, със своя обучен и експертен персонал и модерно технологично оборудване, тестови услуги за определяне на метални елементи върху мокри повърхности с свръхвисока чистота Химически разпределителни системи и компоненти в обхвата на стандарта SEMI F115. също дава.

WhatsApp