Метод за изпитване за определяне на ефектите на налягането върху демонстрирания и действителния поток за контролери за масов дебит SEMI F64

SEMI F 64, разработен в рамките на международна програма за стандартизация, наречена Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), която включва дейности в полза на индустрии като полупроводници, интегрални схеми, транзистори, диоди и плоски дисплеи по целия свят, определя метод за изпитване за характеризиране на контролер на масовия поток, предназначен за монтаж в газоразпределителна система. Този метод за изпитване се прилага за определяне на влиянието на преходни и стационарни условия на входно и изходно налягане върху работата на контролера на масовия поток.

Този метод на изпитване осигурява обща основа за комуникация между производители и потребители по отношение на тестването и обяснението на ефектите на налягането в регулатора на масовия дебит.

С този метод на изпитване се определят ефектите на преходното налягане нагоре (вход) и надолу по потока (изходящ) върху определения и действителния поток. Този метод на изпитване дава резултати за действителния изходящ поток спрямо зададения дебит и настройката на контролера на масовия дебит, повлияна от стационарното входно налягане. Методът се прилага за регулатори на масов дебит с максимален обхват на дебита до 1000 sccm (стандартни кубични сантиметра в минута).

Увеличаването на налягането води до компресиране на газа. Газовете имат по-висока плътност и заемат по-малък обем. С други думи, ако тече определена маса газ, обемът му е по-малък. Тъй като една и съща маса газ протича през същата тръба, скоростта на компресирания газ намалява.

При газови приложения, колебанията в налягането на газа могат да повлияят на скоростта на газа, като по този начин значително повлияят на инструментите за измерване на газовия поток.

По същество дебитът е мярка за изхода на въздух в обем за единица време. Скоростта се отнася до това колко бързо се движи въздухът за единица време. Налягането е мярката за силата, приложена към дадена област.

Сред многобройните изследвания, измервания, анализи и оценки, които нашата организация предоставя за бизнеса в различни сектори, със своя обучен и експертен персонал и модерно технологично оборудване, тестови услуги за определяне на ефектите на налягането върху действителния поток и показани за масата устройства за контрол на потока в обхвата на стандарта SEMI F64. дава.