Разработен в рамките на програма за международни стандарти, наречена Международно полупроводниково оборудване и материали (SEMI), стандартът SEMI F70 е технически одобрен стандарт от Глобалния технически комитет по газовете. Целта на този стандарт е да предостави стандартна методология и метод за изпитване за измерване на характеристиките на добавката на прахови частици на газоразпределителна система по отношение на броя на частиците, добавени към газа, преминаващ през системата. Тази стандартизирана процедура е предназначена да се използва широко от доставчици на газоразпределителни системи, доставчици на оборудване и крайни потребители.
Този метод на изпитване се прилага за конвенционални газоразпределителни системи за повърхностен монтаж, използвани в оборудването за производство на полупроводници. По време на тестовете се взема предвид стандартът SEMI F70.1-0320, приложен към този стандарт (метод за изпитване за определяне на приноса на частици на газоразпределителната система и нейните компоненти чрез изпитване на удар).
Едно от най-важните съображения при проектирането на газоразпределителна система е нивото на чистота на газа, което се изисква във всяка точка на използване. Поддържането на чистота на газа е опростено от централизирана система. Изборът на материали за монтаж трябва да бъде последователен навсякъде. Например, ако се използва газ от изследователска степен, трябва да се използват цялата конструкция от неръждаема стомана и спирателни вентили без диафрагма, за да се предотврати замърсяване на газовия поток. Като цяло има три нива на чистота за описание на почти всяко приложение: универсална чистота, висока чистота и свръхвисока чистота.
SEMI стандартите и практиките за сигурност не претендират, че решават всички проблеми със сигурността за тяхното използване. Отговорност на потребителите на стандартите е да установят подходящи практики за безопасност и здраве и да определят приложимостта на ограниченията от употреба.
Накратко, целта на стандарта SEMI F70 е да осигури метод за измерване на адитивните характеристики на прахови частици на газоразпределителна система по отношение на броя на частиците, добавени към газа, преминаващ през системата.
При изготвянето на този стандарт за справка бяха взети следните SEMI стандарти:
Сред многобройните изследвания, измервания, анализи и оценки, които предоставя за бизнеса в различни сектори, нашата организация предоставя и тестови услуги за определяне на приноса на частиците на газоразпределителната система в обхвата на стандарта SEMI F70, със своите обучени и експертен персонал и модерно технологично оборудване.
Можете да ни помолите да попълним формуляра, за да получим среща, да получим по-подробна информация или да поискаме оценка.
