Метод за изпитване за определяне на ефективността на газообмен/изпускане на газоразпределителна система SEMI F80

Разработен в рамките на международна програма за стандарти, наречена Международно полупроводниково оборудване и материали (SEMI), която включва дейности в полза на индустрии като полупроводници, интегрални схеми, транзистори, диоди и плосък дисплей по целия свят, стандартът SEMI F80 е технически одобрен от Глобалния технически комитет по газовете е стандарт. Този стандарт описва метод за изпитване за определяне на ефективността на газообмен/почистване на газоразпределителната система. Този стандарт обхваща както конвенционалните метални лицеви уплътнения, така и повърхностно монтирани газоразпределителни системи. Този метод на изпитване е подходящ за всички газоразпределителни системи с висока чистота, използвани в заводи за производство на полупроводници и сравними области на изследвания и разработки.

Важно е да се отстрани околният въздух от всички части на тръбопроводна система с висока чистота преди въвеждането на технологичен газ. Това е необходимо поради две причини:

Оставащият въздух намалява чистотата на технологичния газ. Това се отнася за всеки технологичен газ, независимо дали е опасен или не.
Въздухът съдържа кислород и водна пара, някои специални газове реагират с кислород и получените реакционни продукти могат да причинят замърсяване на процеса и повреда на колектора. Други газове образуват силно корозивни продукти при контакт с водни пари и повреждат тръбопроводната система. Корозията на оборудването също е причина за замърсяване.

Необходимо е да се отстрани технологичният газ от всяка част на тръбопроводната система преди излагане на околния въздух. Причините за това могат да бъдат изброени по следния начин:

Много специални газове са силно токсични и представляват сериозна опасност за здравето на работниците.
Някои газове са силно запалими или дори самозапалими и представляват опасност от пожар или експлозия.
Някои газове, от друга страна, стават силно корозивни при контакт с водни пари във въздуха и причиняват щети на оборудването и съоръженията.

Сред многобройните тестове, измервания, анализи и оценки, които нашата организация предоставя на фирми в различни сектори, ние предлагаме и услуги за тестване за определяне на ефективността на газообмена/изпускане на газоразпределителните системи в рамките на стандарта SEMI F80, благодарение на нашия обучен и експертен персонал и модерно технологично оборудване.