SEMI F111 Оборудване Вентилаторен филтърен модул (EFFU) Метод за изпитване за отстраняване на частици

Стандартът SEMI F111, разработен в рамките на международна програма за стандартизация, наречена Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), която включва дейности в полза на индустрии като полупроводници, интегрални схеми, транзистори, диоди и плоски дисплеи по целия свят, определя метод за изпитване за измерване на способността за отстраняване на частици от вентилаторни филтърни блокове (EFFU), монтирани вътре в оборудването.

Тъй като вътре в оборудването има филтър за твърди частици, вентилатор и двигател, целостта на тези части е много важна за работата на вентилаторния филтър на оборудването. Следователно, конвенционален метод за изпитване за отстраняване на прахови частици за филтри за прахови частици е подходящ за оценка на ефективността на отстраняване на прахови частици на филтърния блок на оборудването.

Методът за изпитване, описан в този стандарт, описва метод за оценка на филтърно устройство за вентилатор на оборудването, инсталирано в затворено пространство за отстраняване на частици, произведени в технологичното оборудване. Ефективността на отстраняването на частици на филтърните модули за вентилатор на оборудването обикновено зависи от производителността на филтърната среда и скоростта на въздушния поток. За да разберете производителността на филтърния модул за вентилатор на оборудването, е необходимо едновременно да вземете предвид спецификацията на филтърния носител, скоростта на въздушния поток и целостта на частите на филтърния модул на вентилатора на оборудването. Накратко, този метод за изпитване има за цел да демонстрира производителността на системата на филтърния блок на вентилатора на оборудването.

Филтърното устройство за вентилатор на оборудването е вид моторизирано оборудване за филтриране на въздух. Използва се за отстраняване на вредни частици от въздуха от околния въздух и за доставяне на пречистен въздух в чисти помещения, лаборатории, медицински заведения или микросреда. Тези устройства обикновено съдържат собствен филтър, HEPA филтър и вътрешно контролирано разпределение на въздуха от вентилатора. Филтрите за вентилатор на оборудването са гъвкави и икономични решения за отстраняване на частици от еднопосочно вентилирано оборудване.

При изготвянето на този стандарт за справка беше взет следният SEMI стандарт:

• SEMI F38 Метод за изпитване за оценка на ефективността на газови филтри на място

Сред многобройните изследвания, измервания, анализи и оценки, които предоставя за бизнеса в различни сектори, нашата организация предоставя и тестови услуги за почистване на частици на оборудване, вентилаторен филтър (EFFU) в рамките на стандарта SEMI F111, със своя обучен и експертен персонал и модерно технологично оборудване.