SEMI F112 Метод за изпитване за определяне на свойствата на изсушаване на влага на повърхностно монтирани и конвенционални газоразпределителни системи чрез спектроскопия с кухини пръстени (CRDS)

Разработен в рамките на международна стандартна програма, наречена International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), стандартът SEMI F112 се фокусира върху определянето на характеристиките на изсушаване на влага (т.е. количеството извличаща се влага) на повърхностния монтаж на интегрирани газоразпределителни системи и конвенционален газ разпределителни системи, използващи анализатори за космическа пръстенна спектроскопия (CRDS).Определен е метод за изпитване за

Резултатите от този метод на изпитване се използват за качествено класиране на газоразпределителната система въз основа на проекта. Може да се използва и от потребител с достатъчно познания като вход за числена симулация на поведението на газоразпределителна система.

При изготвянето на този стандарт за справка бяха взети следните SEMI стандарти:

• Метод за изпитване за стандарти за влага SEMI C15 ppm и ppb
• SEMI F1 Спецификация за целостта на теч на тръбопроводни системи и компоненти с висока чистота

Спектроскопията с космически пръстени (CRDS) е добре позната и използвана техника за наблюдение на влагата в технологични газове с висока чистота в производството на полупроводници и светодиоди, както и в промишленото производство, транспорт и разпространение на газ и химикали. Предимствата на тази точна и рентабилна техника за мониторинг на влагата привличат вниманието на емитенти на индустриални стандарти като SEMI.

Методът за изпитване, представен в стандарта SEMI F112, позволява на потребителите да оценят качествено и да класират газоразпределителните системи според техния дизайн. Този стандарт обхваща следните основни области на приложение:

• Газоразпределителни системи за повърхностен монтаж
• Конвенционални газоразпределителни системи
• Квалификация на нови тръбопроводни системи
• Квалификация на нови газоразпределителни проекти

Като цяло стандартите SEMI са доброволни технически споразумения между доставчици и клиенти, насочени към подобряване на качеството и надеждността на продуктите чрез стабилни доставки. Тези стандарти гарантират глобална съвместимост на продуктите, за да отговорят на предизвикателствата за повишаване на производителността, като същевременно предоставят възможности за бизнес в световен мащаб.

Нашата организация, сред многобройните изследвания, измервания, анализи и оценки, които е дала за предприятия в различни сектори, със своя обучен и експертен персонал и модерно технологично оборудване, в обхвата на стандарта SEMI F112, свойства за изсушаване на влага на повърхностно монтирани и конвенционални газоразпределителни системи с космическа пръстенна спектроскопия (CRDS). Той също така предоставя услуги за тестване за определяне на